Occasion KLA / TENCOR eS25 #9249429 à vendre en France
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KLA/TENCOR eS25 est un équipement innovant d'inspection des plaquettes et des masques conçu pour identifier, surveiller et analyser les données de défauts critiques et la contamination des particules sur les plaquettes et les photomasques semi-conducteurs. Le système se compose de deux composants : une unité d'inspection des plaquettes à couplage de charge (CCD) et une machine d'inspection des masques à diffusion quadrapolaire (QSRI). L'outil d'inspection des plaquettes CCD utilise des détecteurs de lumière très sensibles pour détecter de très petits défauts et particules sur une plaquette. L'atout comprend une caméra personnalisée et intégrée avec imagerie CCD couleur et optique de haute précision. La caméra intégrée peut appliquer des algorithmes sophistiqués pour inspecter les particules et autres défauts sur les plaquettes et éliminer les faux positifs. De plus, le modèle comprend un équipement de reconnaissance des particules capable de détecter et de caractériser avec précision les formes et les tailles des particules. Le système d'inspection des masques QSRI utilise également une technologie d'imagerie avancée pour détecter les défauts sur les photomasques. Cette unité utilise un scatteromètre quadrapolaire avec des capacités de balayage à grande vitesse pour générer rapidement des images de haute qualité des photomasques. En outre, la machine dispose d'un algorithme d'analyse propriétaire qui peut mesurer la taille, la forme et le contraste des défauts de particules sur les photomasques. L'outil est capable de détecter des particules jusqu'à 25 nanomètres de taille. KLA eS25 est un outil d'inspection avancé conçu pour garantir la qualité des plaquettes et des masques d'un client en détectant rapidement et avec précision les défauts et la contamination. Le modèle utilise les technologies d'imagerie CCD et QSRI pour générer des images de haute qualité de photomasques et de plaquettes qui peuvent être analysées pour détecter et identifier les défauts. L'équipement est capable de détecter de très petites particules, jusqu'à 25 nanomètres de taille, ce qui peut aider à assurer la production de produits de haute qualité.
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