Occasion KLA / TENCOR eS30 #9280537 à vendre en France

KLA/TENCOR eS30 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes utilisé dans les environnements de production et d'ingénierie/recherche. Il est capable de fournir simultanément des mesures de haute précision des paramètres de la couche critique tels que les largeurs de ligne et le positionnement des bords. Le système est construit sur la technologie OpticVision propriétaire de KLA, avec un laser BDI à 3 segments, un ensemble de tête de balayage laser avec une lentille optique et un appareil photo numérique ultra-haute vitesse. La combinaison de ces composants fournit la vitesse, la flexibilité et la précision sans précédent nécessaires pour les applications de production et de recherche avancées d'aujourd'hui. Le laser BDI 3 segments utilise trois faisceaux laser qui permettent un débit plus élevé et de meilleures performances que les systèmes laser simples traditionnels. Les lasers sont accordables individuellement permettant une large gamme de vitesses de mesure, donnant à l'unité des capacités exceptionnelles en tant qu'outil de production. L'ensemble de la tête de balayage laser utilise une lentille de large ouverture pour focaliser les faisceaux laser sur de très petites caractéristiques et des caractéristiques inspectées avec de très faibles irrégularités de surface. Ceci offre une couverture supérieure de la surface de la plaquette, y compris les bords et les coins, qui peut être difficile à inspecter avec un seul laser. KLA eS30 dispose également d'un appareil photo numérique ultra-haut débit, qui a la capacité de capturer des images fluorescentes à des vitesses très élevées, le rendant parfait pour les applications de lithographie optique. Il dispose également d'un étage intégré de haute précision qui peut traverser rapidement une plaquette ou un réticule du début à la fin en un seul balayage. En outre, TENCOR eS30 dispose également d'une fonction de mesure automatique hors ligne, qui peut être utilisée pour l'évaluation rapide des réticules ou des plaquettes, ainsi que pour l'analyse et l'enregistrement automatisés des données. La machine est soutenue par une puissante suite logicielle avec des capacités de mesure, d'analyse et de reporting, permettant aux utilisateurs d'évaluer rapidement leurs données, de produire des rapports et de réaliser des masques comparatifs à l'aide de données recueillies auprès de eS30. Globalement, KLA/TENCOR eS30 offre des performances et une précision inégalées, ce qui en fait la solution idéale pour un large éventail de besoins d'inspection des plaquettes et des masques. Sa combinaison de fonctionnalités, y compris l'ensemble tête de balayage laser, caméra numérique ultra-haute vitesse et fonction de mesure hors ligne automatisée, en font le choix parfait pour tout environnement de production et/ou d'ingénierie/recherche.