Occasion KLA / TENCOR eS31 #191476 à vendre en France
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ID: 191476
Style Vintage: 2006
Wafer inspection system
SMIF
Currently installed
2006 vintage.
KLA/TENCOR eS31 est un équipement d'inspection entièrement automatisé et à haute résolution conçu spécifiquement pour les applications avancées de métrologie et de contrôle des processus dans le processus de masque et de plaquette. Le système remplit une gamme de fonctions critiques, y compris l'examen et la classification des défauts des plaquettes, l'examen des motifs des masques et l'analyse des données des plaquettes. L'unité fournit aux analystes des renseignements détaillés sur la stabilité du processus, la cohérence du processus, les caractéristiques des défauts et la classification des défauts. KLA eS31 utilise un design innovant pour réaliser des images haute résolution et l'analyse de données - il combine plusieurs techniques d'imagerie et de spectroscopie pour déverrouiller les secrets de la plaquette et des surfaces de masque. La machine de microscopie intégrée est capable de détecter et de mesurer les caractéristiques nanométriques grâce à ses fonctions avancées d'éclairage, de collecte d'images et d'analyse, tandis que l'outil spectroscopique peut quantifier les données spectrales de la matière première au produit fini. L'actif est équipé d'un automate haute vitesse qui permet à l'utilisateur de charger et décharger rapidement et en toute sécurité les plaquettes et les masques, sans intervention manuelle requise. TENCOR eS31 dispose de multiples modes d'inspection pour répondre à diverses exigences d'inspection, y compris les analyses par défaut, par zone et en surface. Le modèle dispose également de capacités avancées de reconnaissance de motifs, lui permettant de détecter les défauts de motifs subtils, ainsi que la fausse reconnaissance. ES31 fournit une capacité automatisée d'analyse et de déclaration des données. L'équipement peut générer des rapports clairs et exploitables qui aident à définir la stabilité et la cohérence du processus des wafers et des masques, ainsi qu'à quantifier les caractéristiques des défauts et leurs causes profondes potentielles. Le système peut également être utilisé pour générer des rapports sur la qualité du produit afin de documenter les performances de la machine et du processus. KLA/TENCOR eS31 est un outil idéal pour surveiller les processus des plaquettes et des masques afin de s'assurer qu'ils restent sans défaut et cohérents. Les capacités de haute vitesse, d'optique haute résolution et d'analyse des données de l'unité en font un atout inestimable pour la détection et la classification automatisées des défauts des plaquettes et des motifs de masques. Grâce à sa facilité d'utilisation, à sa vitesse de chargement rapide et à ses puissantes capacités d'analyse et de notification des données, KLA eS31 est un élément essentiel d'une solution complète de détection des défauts et de contrôle des processus.
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