Occasion KLA / TENCOR eS31 #293606035 à vendre en France

KLA/TENCOR eS31 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Il permet d'inspecter et de surveiller les caractéristiques de l'appareil sur l'ensemble de la plaquette. KLA eS31 dispose de capacités d'imagerie 2D et 3D pour détecter les microstructures, les erreurs lithographiques, les étapes de processus, les défauts et la contamination des particules à la surface de la plaquette. TENCOR eS31 est conçu pour effectuer une détection rapide et précise des défauts, avec un débit élevé pouvant atteindre 600 plaquettes par heure. Il combine la technologie d'imagerie 3D de KLA, avec une configuration source-cible optimisée, pour capturer les défauts de l'appareil qui peuvent couvrir plusieurs couches de masques et de plaquettes. Cela permet au système de détecter avec précision les défauts, même lorsqu'ils se produisent sur différentes couches. La grande sensibilité de l'unité lui permet de détecter les défauts de sous-segments et de segments, ainsi que de permettre la recherche de défauts bord à bord. Les algorithmes utilisés par la machine permettent de détecter à la fois les défauts de masque et de plaquette, et les données recueillies peuvent être utilisées pour fournir une rétroaction préalable et postérieure aux défauts afin d'améliorer les performances du processus. L'outil dispose également d'une technologie unique de cartographie des plaquettes, qui permet d'identifier et d'analyser les plaquettes individuelles sur l'ensemble de la plaquette. Cela permet d'améliorer la couverture des défauts et la corrélation entre les différentes plaquettes, ce qui permet aux opérateurs d'identifier plus facilement les zones problématiques. ES31 dispose également d'un actif automatisé de manutention des plaquettes, qui lui permet de traiter jusqu'à quatre plaquettes à la fois. Le modèle intègre également une plate-forme de mesure in situ, qui fournit des données et des analyses en temps réel pour permettre l'optimisation et le dépannage des processus en temps opportun. KLA/TENCOR eS31 est une solution à guichet unique pour l'inspection des masques et des plaquettes, offrant une détection rapide, précise et complète des défauts. Ses capacités automatisées de manutention des plaquettes lui permettent d'inspecter rapidement de grands lots de plaquettes et ses fonctions complètes d'analyse des données permettent d'analyser et de signaler les défauts en détail. En intégrant une gamme de capacités avancées d'imagerie et de collecte de données, KLA eS31 fournit une détection fiable et précise des défauts, des opérations d'équipement efficaces et une meilleure performance des processus et des produits.