Occasion KLA / TENCOR eS31 #293609359 à vendre en France

KLA/TENCOR eS31 est un équipement très avancé utilisé pour l'inspection des masques et des plaquettes qui offre une résolution de 5nm ou meilleure. Il fournit un contrôle non-contact, non-destructif des caractéristiques photosensibles sur les plaquettes semi-conductrices pour l'amélioration du rendement et le contrôle de la production. Le système fonctionne avec une technique unique appelée « scatterométrie ». Grâce à cette technique, une lumière incidente est diffusée de la surface d'un échantillon et la lumière rétrodiffusée détectée est ensuite analysée. KLA eS31 utilise les profils de scatterométrie laser (LSP) pour fournir des mesures topographiques sur diverses surfaces. L'unité est capable de détecter même les plus petites caractéristiques, telles que la rugosité des bords de ligne, les trous de contact et le rayon d'angle. Sa technologie unique permet également de déterminer la cartographie des niveaux de plaquettes 3D et la mesure de l'épaisseur du film. La machine TENCOR eS31 est capable d'analyser une variété de matériaux tels que le photorésist, le dioxyde de silicium, le nitrure de silicium et d'autres matériaux couramment utilisés dans l'industrie de la microélectronique. L'outil est conçu avec un temps de détection ultra-rapide, ce qui le rend idéal pour les applications où un retournement rapide est nécessaire. De plus, l'actif est automatisé pour permettre aux utilisateurs de configurer et d'acquérir rapidement des données. Le logiciel de la machine offre un mode de balayage intégré, qui permet aux utilisateurs d'analyser plusieurs plaquettes de différentes tailles simultanément avec un algorithme automatisé de détection des fonctionnalités qui stocke et suit les mesures de taille des fonctionnalités pour une référence future. De plus, le modèle comprend une suite de fonctions de contrôle des processus qui permettent aux utilisateurs de personnaliser les paramètres de mesure, de visualiser et d'analyser les données statistiques, et plus encore. ES31 offre une large gamme d'accessoires et de systèmes, tels qu'un module d'éclairage, un étage de métrologie, un module d'imagerie thermique, un module AuroClean, un équipement NuFlats, un module SQA, et une variété de supports et de types de filtres. Ces accessoires et systèmes permettent de personnaliser KLA/TENCOR eS31 en fonction des besoins spécifiques du client, garantissant aux utilisateurs les résultats les plus efficaces et les plus fiables. Globalement, KLA eS31 est un système extrêmement avancé conçu spécifiquement pour faciliter et améliorer l'inspection des masques et des plaquettes. Il fournit une inspection non-contact, non-destructive avec 5nm ou une meilleure résolution et est capable de scanner et d'analyser une variété de matériaux. Avec son unité automatisée, son mode de balayage intégré et ses réglages de mesure personnalisables, la machine TENCOR eS31 est un choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs.