Occasion KLA / TENCOR eS31 #293610174 à vendre en France
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ID: 293610174
Style Vintage: 2005
E-Beam inspection system
Loader unit
Console unit
Noise cut AVR
(2) Dry pumps
2005 vintage.
KLA/TENCOR eS31 est un équipement avancé d'inspection des masques et plaquettes conçu pour une efficacité et une précision maximales. Le système utilise une unité optique haute résolution avancée, une technologie de diffraction laser avancée, et Advanced Motion UltimMC pour fournir des images de haute qualité à des résolutions allant jusqu'à 10 microns. KLA eS31 est composé de plusieurs sous-systèmes et composants qui travaillent ensemble pour assurer une précision et une productivité maximales. La machine comprend une unité de tomographie, une étape d'inspection des plaquettes, des objectifs microscopiques, un outil de diffraction laser, un étage coulissant et un outil de positionnement automatisé des plaquettes, et un moniteur de haute précision. L'unité de tomographie dispose d'une structure très avancée, conçue pour réduire les vibrations et améliorer la stabilité de l'imagerie. L'unité de tomographie utilise un illuminateur laser avancé, un écran à cristaux liquides de 13 pouces, et un modèle de contrôle de focalisation pour fournir des images claires et précises jusqu'à 10 microns, dans un motif linéaire ou circulaire. L'étape d'inspection des plaquettes est un porte-caméra bimoteur avancé avec des manipulateurs de précision et un équipement d'étage coulissant. Il est conçu pour fournir un maximum de précision dans le positionnement de la plaquette, avec un minimum de dérive et de contrainte, tandis que les objectifs du microscope fournissent le plus grand grossissement possible même à une résolution d'inspection ultra-élevée. Le système de diffraction laser fournit une précision maximale dans l'inspection des structures spécialisées telles que la rugosité des bords de ligne, et est capable de calibrer à 40 microns à une largeur de ligne de 0,1 micron. L'installation d'un bras robotique multi-axes augmente encore la précision et la précision de l'appareil, accélérant la production et conduisant à des rendements d'inspection plus fiables. TENCOR eS31 est également équipé d'un moniteur haute résolution, offrant une visualisation précise des images jusqu'à 10 microns. Il dispose d'un grand écran codé en couleur, qui permet aux opérateurs d'ajuster avec précision leurs paramètres et d'analyser rapidement leurs résultats. ES31 est la machine idéale pour l'inspection des masques et des plaquettes. Son ensemble complet de fonctionnalités offre une précision et une rapidité d'inspection maximales, garantissant que les pièces de qualité sont livrées rapidement, de façon fiable et cohérente.
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