Occasion KLA / TENCOR eS31 #9298886 à vendre en France

ID: 9298886
E-Beam inspection system, 12" 2004 vintage.
KLA/TENCOR eS31 est un masque haute performance et un équipement d'inspection de plaquettes qui permet aux besoins des clients qui exigent un niveau élevé de précision et de débit. Il est capable de fournir une précision de niveau nanométrique et une vitesse d'inspection sans précédent pour une large gamme de dispositifs semi-conducteurs. KLA eS31 dispose d'une conception optique optimisée avec colonne optique KLA SLF avec module Lightning, un fond statistique HS normalisé, et la capacité de balayage GS1. La conception optique SLF offre une excellente uniformité et qualité d'image dans tout le champ de vision. Le système de suspension à air breveté permet plus de 1M Hz de balayage à grande vitesse avec une résolution nanométrique. Ceci permet une détection rapide et précise des défauts qui, autrement, n'auraient pas été vus. Le module Lightning offre 4 combinaisons de contrastes Infra-Rouge, ultraviolet et wafer-optique, pour l'inspection la plus précise de toute fonctionnalité sur un appareil. Le contexte statistique du SH fournit une comparaison entre les signaux en direct d'un échantillon et une surface de référence fiable, assurant une détection robuste des contaminants et des défauts. La capacité de balayage GS1 permet d'inspecter les plaquettes des dispositifs semi-conducteurs d'une épaisseur de 12 pouces à 200 milles. Le balayage peut couvrir jusqu'à 40.000mm2 en aussi peu que 4 secondes. L'unité dispose également d'un haut niveau d'automatisation pour minimiser les besoins de manutention. Le logiciel pour TENCOR eS31 a une variété de fonctionnalités telles que : auto-corréler, cluster-algorithme, flat view et Auto-View. L'algorithme de corrélation automatique et de grappes permet la comparaison simultanée des données inspectées à partir de plusieurs ensembles de données sur les surfaces avant et arrière des plaquettes. Vue à plat aide à déterminer la force du détecteur et l'interprétation du signal par rapport au fond. Auto-view permet de générer une vue unique qui contient des informations masquées, non emballées, numérisées et sommaires. En résumé, eS31 de TENCOR est une machine d'inspection de masque et de plaquettes haute performance qui offre une précision et un débit de niveau nanométrique. Avec sa conception optique avancée, son outil breveté de suspension pneumatique et son logiciel convivial, KLA/TENCOR eS31 est la solution idéale pour tout besoin de fabrication de semi-conducteurs.
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