Occasion KLA / TENCOR eS32 #293665956 à vendre en France

KLA / TENCOR eS32
ID: 293665956
Taille de la plaquette: 12"
E-Beam inspection systems, 12".
KLA/TENCOR eS32 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes capable d'effectuer la détection et le diagnostic de défauts sur une variété de types d'applications. Il combine des technologies avancées de lithographie optique et d'imagerie pour identifier même les défauts de processus les plus subtils, tels que ceux causés par une particule piégée ou la contamination. Il a une résolution de 0,5 µm et peut traiter des substrats jusqu'à 200 mm de diamètre. Il est également supporté par une suite de logiciels d'inspection des défauts, conçus pour maximiser l'efficacité et minimiser les défauts manqués. KLA eS32 est capable d'inspecter à diverses expositions, ce qui lui permet de détecter des défauts dans un large éventail d'applications, de la lithographie avancée à la photolithographie, en passant par la cendre directe du plasma d'oxygène, la gravure humide, etc. Il dispose d'un système à double télescope qui lui permet d'inspecter efficacement le réticule et la plaquette en une seule exposition. Il est équipé d'une unité d'imagerie couleur à 9 niveaux haute résolution et d'un mouvement de plaquette en boucle fermée pour un échantillonnage précis des défauts et une imagerie précise. La machine est alimentée par KLA, une plate-forme logicielle unique qui offre une expérience unifiée à l'utilisateur en consolidant les capacités d'inspection et de diagnostic à l'intérieur de la même frontière. Il est conçu pour augmenter les niveaux de productivité en fournissant un flux de travail sans contact avec la configuration automatisée des tâches. De plus, son architecture hardware-agnostique est optimisée pour un contrôle sans faille des hôtes et un échange de données. TENCOR ES 32 est également équipé de capacités de métrologie, avec une large gamme de mesures rendues possibles par le matériel de métrologie intégré. Cela inclut CD-SEM et OVL appariement automatique pour une meilleure précision des données. Il est également pré-étalonné pour minimiser les temps d'étalonnage de référence. De plus, la norme ES 32 offre une grande variété de fonctions de productivité, y compris une interface utilisateur intuitive pour la facilité d'utilisation, des timbres temps réel pour la déclaration rapide, des transactions de défauts multiples pour un examen rapide et une personnalisation à bord pour une expérience sur mesure. En outre, les utilisateurs peuvent choisir parmi une gamme d'accessoires optionnels pour personnaliser l'utilitaire eS32 pour n'importe quelle application. Dans l'ensemble, TENCOR eS32 est un outil puissant et polyvalent d'inspection des masques et plaquettes capable d'effectuer la détection et le diagnostic des défauts haute résolution dans un large éventail d'applications. Il est équipé d'une configuration automatisée des tâches et d'une variété de fonctionnalités pour une efficacité et une productivité accrues. Avec ses technologies de pointe et ses capacités de métrologie étendues, KLA ES 32 peut aider à réduire les défauts manqués et garantir des performances optimales.
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