Occasion KLA / TENCOR eS32 #9354570 à vendre en France

KLA/TENCOR eS32 est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes qui utilise une technologie avancée d'inspection optique et de métrologie pour détecter les défauts sur les plaquettes et les masques à couches minces utilisés dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Ses caractéristiques de faisceau optique sont adaptées pour une résolution et une précision maximales, et son électronique d'acquisition à grande vitesse permet une imagerie rapide de l'objet. KLA eS32 est capable de détecter des défauts sur des niveaux k1/k2, et peut exposer des défauts de motif de masque haute densité. Il peut également mesurer les dimensions du masque, l'épaisseur de la couche et les angles d'intersection. Cette facilité de reconnaissance est facilitée par l'utilisation du microscope électronique à balayage qui permet une imagerie haute résolution des caractéristiques de la plaquette et du masque à couches minces. Son architecture système avancée est destinée à fournir une inspection continue avec un débit élevé sur une large gamme de plaquettes et des diamètres de masque de film mince. Les contrôleurs de sources électriques exclusifs KLA sont conçus pour fournir des vitesses d'évaporation très cohérentes. Cela permet des résultats répétables même dans les applications les plus difficiles. TENCOR ES 32 offre également des options de haute et basse énergie pour l'inspection aux rayons X. Son option d'unité haute énergie est activée par deux sources de rayons X micro-focus, qui offrent un excellent contraste entre les caractéristiques de la plaque présente et de la couche de masque. L'option machine à basse énergie, équipée de sources de rayons X 1.2mV, examine les défauts subtils dans les caractéristiques structurées des plaquettes. L'interface de contrôle rapide et facile de l'outil permet aux opérateurs de personnaliser les paramètres de traitement en fonction des exigences de production spécifiques. Pour améliorer encore le contrôle des processus, le logiciel d'appariement des processus eS32 optimise les paramètres à chaque étape du processus d'inspection. Il en résulte une inspection précise et complète des couches de masque avec un haut degré de précision. Les systèmes optimisés de TENCOR eS32 sont conçus pour fournir des données de métrologie complètes qui ont amélioré la vitesse et la précision. Une interface de contrôle intuitive permet un fonctionnement efficace et une collecte complète de données pour l'analyse et la communication rapide. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR ES 32 est un outil d'inspection de masque et de plaquettes très avancé et fiable qui offre une précision et un détail inégalés. Ses capacités optiques et métrologiques à haute résolution permettent d'identifier avec précision les défauts des masques en plaquettes et en couches minces, d'accélérer le processus et d'assurer un niveau élevé de qualité du produit.