Occasion KLA / TENCOR eS32 #9354572 à vendre en France
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ID: 9354572
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
E-Beam inspection system, 12"
2007 vintage.
KLA/TENCOR eS32 est un équipement avancé d'inspection des masques et plaquettes qui profite d'une tête d'imagerie active et des capteurs d'imagerie les plus récents pour offrir une meilleure qualité, des temps d'inspection plus rapides et une meilleure précision de placement des défauts. Le système est conçu pour fournir une précision de débit, de rendement et de dimension critique (CD) leader de l'industrie pour résoudre les demandes croissantes des dernières technologies de puce. La tête d'imagerie active avancée de l'unité contient deux capteurs de caméra 2k x 2k de pleine largeur montés de part et d'autre des composants optiques pour l'imagerie 2D simultanée dans les modes d'éclairage parallèle et d'éclairage ombragé. Cela offre à la fois les capacités d'imagerie et de non-imagerie nécessaires pour détecter les défauts et les caractéristiques sous un large éventail d'angles, contribuant à réduire les coûts de retravaillement. La machine comprend également des capteurs avancés pour le contrôle du CD au niveau des plaquettes et la métrologie haute résolution à champ plat/connectivité pour soutenir les entreprises de technologie de wafer et d'emballage de pointe. La fonction Inspection améliorée de la soudure (ESI) est conçue pour identifier le vide de soudure sur les plaquettes et les substrats avec une précision de 1 % ou moins. KLA eS32 utilise la technologie d'imagerie haute résolution la plus récente, qui lui permet de capturer 256x256 images pixel à un rythme de 1 à 4 images par seconde pour tous les types de produits dans les configurations mono-face et multi-face, obtenant un débit optimal et une faible empreinte. L'outil prend également en charge la reconstitution 3D et la reconnaissance de texture, ce qui permet une classification automatisée des défauts et un nivellement avec un haut degré de précision, et en tant qu'outil d'inspection basé sur des règles, il peut facilement être configuré pour respecter diverses procédures et normes clients. En outre, TENCOR ES 32 est capable de scanner des plaquettes de grande surface, lui permettant d'améliorer la qualité et le rendement en détectant plus de types de défauts que les systèmes optiques standards. La combinaison de capteurs de haute résolution avancés, d'algorithmes de reconstitution et de reconnaissance de texture, avec une approche d'inspection basée sur des règles, fournit des capacités d'inspection de haute précision, ce qui entraîne un taux élevé de détection des défauts et un débit élevé. Le modèle est rapide et précis, ce qui lui permet d'évaluer rapidement la qualité de la plaquette ou de la puce avant sa mise en production.
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