Occasion KLA / TENCOR eS37L #9232829 à vendre en France
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ID: 9232829
Inspection system
Main body
EFEM
IMC Rack
UI
Power vaccine
(2) Power supplies.
KLA/TENCOR eS37L est un équipement d'inspection des masques et plaquettes conçu pour détecter les défauts physiques sur les masques et plaquettes lithographiques utilisés pendant le processus de fabrication des semi-conducteurs. Il est capable de détecter des défauts aussi petits que 45 nm. Il dispose d'un grand champ de vision, lui permettant d'afficher simultanément plus de 30 plaquettes ou masques et de scanner jusqu'à 140 champs de balayage par seconde. En outre, le système est très adaptatif car il peut être reconfiguré pour répondre aux exigences spécifiques de détection personnalisée en réponse à l'évolution des besoins des processus. L'unité KLA eS37L utilise une technologie d'imagerie avancée pour identifier, classer et détecter les défauts sur les masques et les plaquettes. Ceci est réalisé grâce à de nombreux composants optiques, y compris des lentilles précises et des sources lumineuses. Il incorpore aussi la technologie KLA de propriétaire, le fait d'inclure a fait breveter la technologie d'ouverture ARCSharp™ et les algorithmes de traitement de signal de TeleSight™. ARCSharp™ technologie profite de l'architecture de balayage à quatre quadrants pour améliorer les performances d'imagerie et de détection des défauts. La machine analyse ensuite les images pour déterminer la forme et la taille du défaut, et identifie l'emplacement sur la plaquette ou le masque. L'outil TENCOR eS37L dispose d'un logiciel de pointe, permettant la classification et la révision automatiques des défauts. Il comprend également une série complète de rapports, permettant une analyse détaillée des résultats des inspections. De plus, l'actif est entièrement automatisé et s'intègre à l'équipement automatisé existant, comme les trieurs de plaquettes, les systèmes de convoyage et les systèmes de suivi et de traçage. Cette intégration permet de s'assurer que le modèle est utilisé de la manière la plus efficace. ES37L l'équipement est un outil essentiel pour la détection efficace et précise des défauts sur les masques et les plaquettes utilisés dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Sa technologie d'imagerie de pointe, sa classification automatisée des défauts et ses capacités complètes de déclaration permettent de détecter et d'analyser rapidement et avec précision les défauts, ce qui permet de détecter de minuscules défauts physiques. En outre, ses capacités d'intégration logicielle aident à assurer l'utilisation efficace du système. L'unité KLA/TENCOR eS37L est une machine d'inspection fiable et efficace.
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