Occasion KLA / TENCOR eS805 #293641968 à vendre en France

KLA / TENCOR eS805
ID: 293641968
E-Beam inspection system.
KLA/TENCOR eS805 Masque et Wafer Inspection System offre des performances et une fiabilité exceptionnelles pour l'inspection de défauts, de processus et de métrologie masque et wafer sur les lignes de production de semi-conducteurs d'aujourd'hui. KLA eS805 permet le développement, la caractérisation, le débogage et le contrôle de la production essentiels pour répondre aux exigences strictes des nœuds de processus avancés. TENCOR eS805 combine des technologies avancées de contrôle des processus en ligne, y compris l'imagerie SEM et des capacités supérieures d'analyse multivariée pour permettre aux clients la flexibilité de développer leurs propres recettes ou de tirer parti des recettes fournies par l'usine pour inspecter correctement leurs appareils. En utilisant son processeur algorithmique quantique (QAP) avec une optimisation efficace du moteur et des paramètres réglables, le système peut relever un large éventail de défis de contrôle de processus. Conçu pour des configurations flexibles, eS805 dispose de plusieurs options évolutives sur le terrain, telles que le choix de la taille de la plaquette pour une productivité plus élevée, SEM haute résolution (HR-SEM) pour une meilleure qualité d'image, et laser haute puissance pour les zones de couverture extra-grandes. KLA/TENCOR eS805 prend également en charge plusieurs périphériques, dont l'objectif de projection multi-zones (MZPO) pour améliorer l'uniformité sur divers lots, ainsi qu'un détecteur de vue latérale pour l'éclairage latéral. KLA eS805 offre également une vaste gamme d'utilitaires logiciels, permettant aux clients de surveiller facilement les rendements, d'établir la traçabilité des produits et d'identifier rapidement les problèmes de processus. L'outil d'amélioration de la traçabilité (TET) permet de surveiller l'évolution des particules sur plusieurs plaquettes, sources et lots. Les traits d'interface d'utilisateur MOTIF™ ergonomiquement avancés les algorithmes avancés pour traiter et présenter des résultats d'inspection, en incluant sur demande voient, la statistique et les étalages. Le système dispose également de capacités d'examen et d'analyse hors ligne. TENCOR eS805 a été conçu pour accomplir un large éventail de tâches d'inspection, offrant en même temps des performances de contrôle de processus et un débit de données plus élevés. Avec son imagerie haute résolution, ses systèmes optiques avancés et ses outils sophistiqués de traitement d'images et de métrologie, eS805 est un choix idéal pour une grande variété d'applications d'inspection de plaquettes et de masques.
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