Occasion KLA / TENCOR EV300 #9088175 à vendre en France

KLA/TENCOR EV300 est un masque de haute précision et un équipement d'inspection des plaquettes conçu pour identifier les défauts de métallisation. Il utilise une combinaison de techniques optiques avancées, y compris l'imagerie en champ lumineux et en champ sombre, ainsi que la technologie brevetée d'imagerie par diffusion multiangles, pour détecter et caractériser les défauts critiques. Avec une portée de balayage allant jusqu'à 300mm, KLA EV 300 peut capturer un large éventail de types de défauts, y compris ceux dans les couches de pré-métal et de métal des photomasques. Le système se compose d'une caméra infrarouge à haute résolution, qui offre un aperçu rapide et précis de l'ensemble de la plaquette, et de plusieurs détecteurs optiques, qui donnent des images détaillées des défauts présents. Sa résolution de balayage élevée, jusqu'à 10 µm, permet de détecter des particules fines, telles que des particules provenant de couches de gravure ou d'oxyde, ainsi que de distinguer efficacement des particules de différentes tailles et formes. La vitesse de balayage de l'appareil, qui peut atteindre jusqu'à 5 Hz, garantit des temps de traitement rapides. TENCOR EV-300 peut être utilisé pour vérifier les défauts de forme, de taille et de position des plots de contact, des vias et des lignes, ainsi que sur les coins et les bords des plots. Il peut également être utilisé pour identifier l'excès d'oxydation, de contamination, ainsi que des rayures ou des variations topographiques dans les dépôts. La machine dispose de plusieurs fonctions d'analyse d'image automatisées intégrées, qui réduisent considérablement le besoin d'inspection et d'interprétation manuelles. TENCOR EV300 est livré avec une interface utilisateur intuitive, ce qui le rend facile et convivial à utiliser. Il est compatible avec tous les processus fab majeurs, permettant une intégration facile et un démarrage rapide. L'outil prend également en charge une gamme complète d'outils informatiques pour l'analyse et l'établissement de rapports avant et après le processus. En utilisant des technologies de pointe, TENCOR EV 300 peut aider les fabricants à identifier et localiser rapidement les particules chimiquement marquées, qui sont essentielles au succès de la lithographie avancée. Au total, KLA/TENCOR EV 300 est un outil avancé d'inspection des masques et plaquettes qui révolutionne la façon dont l'analyse des défauts est effectuée. Avec sa haute résolution, ses fonctions d'analyse d'image automatisée et son interface conviviale, KLA EV300 est le choix idéal pour identifier les défauts critiques de métallisation.