Occasion KLA / TENCOR EV300 #9191448 à vendre en France
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ID: 9191448
Style Vintage: 2002
Defect review system
Open cassette
With GENMARK single end-effector robot
Cassette type: Dual open cassette, 8"
Camera: High & Low MAG
With EDX in box and line conditioner
With Dry pump console powered box and vac-pump included
2002 vintage.
KLA/TENCOR EV300 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes qui permet d'assurer la meilleure qualité des composants semi-conducteurs avancés. Il offre des performances supérieures lors de la mesure, la validation et la vérification des caractéristiques à la fois sur le masque et la production de plaquettes. La technologie de microscopie électronique à balayage KLA EV 300 permet de découvrir et d'isoler les défauts de production sur les couches de masque et de plaquette. Sa capacité de résolution est nettement supérieure à celle d'un système d'imagerie optique traditionnel. Cela permet à TENCOR EV-300 d'inspecter de plus grandes tailles de motifs avec une précision de mesure améliorée et un débit plus rapide. De plus, les algorithmes exclusifs FocSEM de KLA/TENCOR EV-300 offrent une résolution d'imagerie supérieure, ce qui facilite la détection des défauts qui n'auraient pu être détectés avec les systèmes REI classiques. L'unité KLA EV300 permet également l'inspection simultanée d'une variété de caractéristiques sur le masque et la plaquette, y compris les lignes, les bords, les vias, les plots de contact et les fils. En outre, il dispose d'un algorithme de validation intégré qui vérifie à la fois l'espaceur et l'alignement-per-die. La machine KLA/TENCOR EV 300 comprend également des solutions de mesure de mise en page ScanType (STM) exclusives à KLA qui permettent une précision de niveau pixel de chaque motif sur le masque et la plaquette. De plus, la suite d'inspection Renalogix d'EV-300 offre une analyse approfondie des défauts critiques, une surveillance des rendements et une tendance à la performance des outils. TENCOR EV300 comprend également une gamme d'outils spécialisés. Ces logiciels spécialisés fournissent une analyse supplémentaire des motifs des masques et des plaquettes. Le module TENCOR Defect Analysis Solution (DAS) offre une solution facile à utiliser pour analyser, classer et filtrer les données de défauts, fournissant des informations détaillées sur les défauts et leur taille, leur forme, leur emplacement et leur orientation sur le masque et la plaquette. KLA/TENCOR Alignment Certification Suite (ACS) fournit des outils de visualisation pour analyser les erreurs d'alignement, ainsi que la capacité de mesurer la taille, la rotation et les décalages de position par rapport à la conception initiale. EV 300 dispose des logiciels et des systèmes de contrôle du matériel de pointe nécessaires pour le contrôle moderne des processus et l'assurance de la qualité. Il comprend une combinaison robuste de fonctions de contrôle, telles que l'étalonnage automatisé des étapes, la détection de la taille des plaquettes, la sélectivité des plaquettes, la détection des motifs, la couture des motifs avant/arrière/réflexion, l'analyse et la déclaration automatisées des défauts, ainsi que des algorithmes et logiciels d'inspection avancés. Toutes ces caractéristiques font de TENCOR EV 300 un masque puissant et efficace et un outil d'inspection des plaquettes. EV300 est à la fois très automatisé et facile à utiliser, de sorte qu'il peut être intégré rapidement dans les processus de production existants. Il peut également relever de nouveaux défis de processus grâce à son ensemble de fonctionnalités hautement configurables. Avec ce modèle, les utilisateurs peuvent être sûrs que leurs produits répondent aux normes de qualité les plus strictes.
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