Occasion KLA / TENCOR FLX-5200 #9148242 à vendre en France
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KLA/TENCOR FLX-5200 est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes qui fournit des capacités d'imagerie et d'analyse de données avancées afin de déterminer les micro-défauts et autres types de contaminants. C'est un outil précieux pour identifier les problèmes au niveau de la surface et de la sous-surface qui peuvent compromettre l'intégrité d'une plaquette ou d'un masque. Le but primaire de système d'inspection de KLA FLX-5200 est de découvrir et caractériser des défauts et des polluants sur les échantillons tels que les gaufrettes montées, les photomasques, les masques et les réticules. L'unité est spécifiquement conçue pour examiner des motifs mesurant entre 25nm et 6 μ m, ce qui en fait un choix idéal pour une grande variété de procédés de fabrication de micro-électronique. TENCOR FLX 5200 utilise des capacités d'imagerie et d'analyse avancées afin de fournir des données significatives tout au long du processus d'inspection. Grâce à l'imagerie à trois et quatre voies, qui comprend un mélange de nœuds blancs, ultraviolets (UV) et optiques, les données sont recueillies de tous les côtés de l'appareil - de haut en bas, à l'intérieur, latéralement, vers l'arrière, et plus encore. Ces données sont ensuite analysées et signalées de manière automatisée, ce qui fournit une image efficace et précise de l'objet inspecté. KLA/TENCOR FLX 5200 dispose également d'une imagerie ultra haute résolution et de capacités de mise au point améliorées qui permettent à l'utilisateur de zoomer et d'inspecter les détails minutes sur la surface de la plaquette. Ceci est idéal pour identifier les particules et autres contaminants à l'échelle nanométrique. Pour améliorer encore le processus d'inspection, la machine comprend un alignement automatisé et des mesures qui tiennent compte des caractéristiques à la surface et dans le substrat. L'outil est également équipé d'une interface opératoire intuitive et de techniques d'imagerie avancées. Cette combinaison permet de configurer l'actif, de saisir les données et de générer des rapports réalisables. En un mot, FLX-5200 est un modèle d'inspection de masque et de plaquette de pointe qui fournit une imagerie haute vitesse, des mesures automatisées, des contrôles intuitifs et des capacités de focalisation améliorées pour des détections et des caractérisations fiables des défauts et des contaminants dans une grande variété de substrats. C'est un outil précieux pour assurer la précision et le contrôle de la qualité dans la fabrication de micro-électroniques.
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