Occasion KLA / TENCOR FLX-5400 #9118978 à vendre en France
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Vendu
ID: 9118978
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996-1998
Automated thin film stress measurement systems, 8"
Throughput of 60 wafers per hour
Dual wavelength technology
1996-1998 vintages.
KLA/TENCOR FLX-5400 est un masque haute performance et un équipement d'inspection de plaquettes qui utilise des technologies d'inspection de pointe pour fournir une détection et une classification des défauts précises et fiables. Ce système est conçu pour accueillir à la fois des environnements de fabrication de plaquettes de grand volume et de fabrication de masques. KLA FLX-5400 est une unité à double champ composée d'un module d'inspection optique et d'un module de détection de défocus. Le module optique contient un réseau LED ultra-rapide pour l'éclairage et l'acquisition d'images optiques et est conçu pour l'inspection des modèles de fonctionnalités. Le module de détection de défocus utilise une machine optique avancée afin de détecter des défauts extrêmement faibles dans la structure de la plaquette. TENCOR FLX 5400 est conçu pour fournir un haut débit - même avec l'inspection d'un grand nombre de plaquettes. Cet outil est équipé à la fois d'une tête de balayage rapide et d'un processeur de données de grande capacité, permettant ainsi des processus de fabrication de semi-conducteurs flexibles et efficaces. L'actif est capable de détecter des défauts jusqu'à 0,5 micromètre (μ m). KLA/TENCOR FLX 5400 est livré avec une fonctionnalité de classification des défauts granulaires. Cette fonctionnalité permet au modèle de regrouper les défauts détectés en plusieurs classes pour une analyse post-inspection facile. De plus, les algorithmes logiciels de l'équipement sont adaptés pour améliorer la précision des rapports de défauts. TENCOR FLX-5400 permet un étalonnage automatisé du système et fournit des capacités de télésurveillance connectées au réseau. Cette unité offre également un outil intégré d'analyse automatique globale pour une analyse et un reporting complets des plaquettes. En termes de logiciels, FLX 5400 dispose d'outils d'analyse avancés puissants pour la caractérisation avancée des défauts et la métrologie. En outre, l'interface logicielle conviviale améliore l'expérience utilisateur avec des fonctionnalités telles que l'utilisation de l'écran tactile, la structure de menu basée sur Icon, et une base de données arrière puissante. FLX-5400 est capable à la fois d'un support multilingue et d'un accès global, ce qui en fait un excellent choix pour l'inspection globale des masques et des plaquettes. Cet outil est conforme à plusieurs normes normatives, y compris les normes SEMI, afin que les utilisateurs puissent avoir confiance en sa fiabilité. Dans l'ensemble, le KLA FLX 5400 est un outil puissant et précis d'inspection des masques et des plaquettes qui contribue à assurer la qualité du processus de fabrication des semi-conducteurs. Avec des capacités puissantes telles que l'étalonnage automatisé des modèles, la classification des défauts et un fonctionnement rentable, KLA/TENCOR FLX-5400 est un excellent choix pour les applications d'inspection des plaquettes et des masques.
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