Occasion KLA / TENCOR FRJ CHANGER ASSY #9292415 à vendre en France

KLA/TENCOR FRJ CHANGER ASSY est un équipement entièrement automatisé d'inspection des masques et plaquettes conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes pour une production efficace de circuits intégrés très complexes. Le système est construit autour d'une unité de manutention robotique double bras modulaire qui permet de multiples flux de travail (un seul travail à la fois) et d'un seul changeur de cassette contrôlé par robot pour le chargement, le déchargement et le changement de masques et de plaquettes entre les modules de processus. Cela garantit des retards minimes et un débit élevé, même dans les ateliers très chargés. Les mandrins utilisés par le robot sont conçus pour un chargement et un déchargement faciles et rapides des masques et des plaquettes. La machine est également équipée d'une interface utilisateur détaillée pour le repérage croisé masque-plaquette, l'alignement et l'inspection. L'interface intuitive de l'outil est conçue pour naviguer intuitivement vers un opérateur. Il fournit également des images détaillées de l'ensemble de la disposition des actifs, de l'équipement et des processus utilisés, ainsi que des rapports d'assurance de la qualité. Le modèle dispose également d'un équipement de vision intégré, fournissant des mesures rapides et précises à la volée et l'inspection du masque et de la plaquette. Cela aide à réduire les risques de processus et améliore le rendement du processus. L'architecture d'automatisation des processus sous-jacente est optimisée pour les exigences de production les plus strictes, permettant des fonctions de processus critiques de haute précision et hautement automatisées telles que l'exposition, l'alignement et la classification. Ce système prend également en charge des fonctionnalités propres à la salle blanche telles que le transfert de wafer par KLA concept propriétaire de transfert-voiture, qui contribue à réduire la contamination dans le processus. L'unité TENCOR FRJ offre également une capacité de métrologie intégrée qui permet une mesure de haute précision et de contrôle de processus répétable. Cela aide à affiner rapidement et avec précision les paramètres du processus afin de réduire les risques et d'améliorer les rendements. Cette machine est très fiable et facile à entretenir, offrant un moyen sûr et efficace pour les opérateurs d'inspecter les masques et les plaquettes. Ses temps de passage courts, combinés à son fonctionnement précis et cohérent, font de KLA FRJ CHANGER ASSY une solution idéale pour la production en continu de masques et de plaquettes.