Occasion KLA / TENCOR / HAMAMATSU R1617HA #200233 à vendre en France

KLA/TENCOR/HAMAMATSU R1617HA est un masque haute performance et un équipement d'inspection des plaquettes conçu pour détecter les défauts et la contamination précédemment indétectables sur les plaquettes à motifs. Le système combine plusieurs techniques d'inspection pour offrir aux utilisateurs la plus grande flexibilité et précision dans leur processus de production. L'unité offre une gamme complète de techniques d'inspection, y compris l'inspection des photomasques, l'inspection des plaquettes, la mesure des dimensions critiques (CD) et les tests électriques pour détecter les défauts couvrant plusieurs niveaux du processus de fabrication, du masque à la plaquette finie. Tout d'abord, la machine offre des capacités avancées d'inspection de masque. En utilisant les techniques d'imagerie de la lumière du champ sombre (LDF) et de la lumière du champ lumineux (LDF), l'outil peut distinguer les défauts sur la photomasque qui sont visibles ou invisibles sous un éclairage régulier. De plus, l'inspection du côté arrière identifie des défauts subtils sur le côté inverse du masque, étendant la couverture de la conception conventionnelle des actifs. Ensuite, le modèle offre une inspection et une analyse précises des plaquettes. L'inspection par dimension critique (CD) détecte et mesure les détails fins du modèle de conception, tandis qu'une gamme de techniques d'inspection telles que le champ sombre de transmission, le champ lumineux et l'imagerie spectrale permettent à l'équipement de détecter un large éventail de défauts sur la surface de la plaquette. Pour les essais électriques, le système a des capacités de test de circuit intégré (IC), donnant une faible densité de défauts sur les plaquettes de produit. En plus de ces caractéristiques, l'unité utilise des composants spécialement conçus pour une variété de caractéristiques de sous-microns et des structures optiques à couches minces, soutenant la précision sur un large éventail d'applications. En outre, la machine est conçue avec une optique avancée et des sources d'éclairage pour permettre la détection des défauts sans compromettre le débit. Pour assurer une fiabilité et des performances maximales, KLA R1617HA est conçu et fabriqué avec des tests électromagnétiques avancés (EM), des vibrations et un contrôle de la température, et utilise des composants matériels/logiciels robustes et des processus de gestion des outils. L'actif est également entièrement évolutif, ce qui en fait une solution polyvalente pour une variété d'exigences de production. En résumé, TENCOR R1617HA est un puissant modèle d'inspection des masques et des plaquettes qui offre une détection précise des défauts, une mesure précise des CD des plaquettes et des tests électriques fiables pour un large éventail de procédés de fabrication. Alliant une conception sophistiquée à des processus de contrôle de qualité rigoureux, l'équipement fournit une solution fiable et rentable pour des exigences de production avancées.