Occasion KLA / TENCOR INS 3000 / 3300 #9195887 à vendre en France

KLA / TENCOR INS 3000 / 3300
ID: 9195887
Wafer defect inspection system.
KLA/TENCOR INS 3000/3300 est un équipement automatisé pour l'inspection des masques et des plaquettes qui est la norme d'or pour les performances avancées et la cohérence. Il combine les puissantes capacités du sous-système d'imagerie 3D plein champ avec la flexibilité de la plaquette 2D et l'imagerie par défaut pour fournir un système d'inspection complet. KLA INS 3000/3300 utilise la dernière technologie d'imagerie et d'inspection haute résolution pour capturer les images haute résolution des défauts et la topographie des wafers à la fois macro et micro échelles. Cela permet une plus grande précision et précision lors de l'inspection des composants microélectroniques et le contrôle des géométries des plaquettes. Le balayage automatisé des plaquettes utilise également la technologie CNC à grande vitesse pour assurer une mesure précise et des débits élevés. Le sous-système d'imagerie 3D capture des reconstructions 3D précises de la topographie des plaquettes et des emplacements de défauts. Ceci est combiné avec l'unité d'alignement de plaquettes propriétaire KLA pour obtenir une précision de sous-micron dans l'emplacement des défauts. Les données d'imagerie de cette machine sont examinées en détail pour détecter les défauts, qui sont ensuite comparés aux normes de référence de la bibliothèque. Cet outil permet de résoudre au microscope les défauts sur de grandes surfaces de plaquettes. L'actif d'imagerie par défaut 2D permet une évaluation de haute précision au niveau du nanomètre pour les deux défauts et leurs caractéristiques associées. Ce modèle d'imagerie permet une résolution et une visibilité de défaut inégalées, avec des niveaux de détection bien inférieurs au niveau de 10nm. L'équipement d'inspection des masques et plaquettes TENCOR INS 3000/3300 est l'un des principaux systèmes de l'industrie. Il offre aux clients des performances et une précision supérieures avec une large gamme de capacités d'imagerie et de détection de défauts. Il fournit les résultats de la plus haute qualité et élimine l'échantillonnage et l'inspection manuelle coûteux. Il s'agit d'un choix idéal pour la R-D et la production à haut volume dans de nombreuses industries.
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