KLA / TENCOR / INSPEX (Inspection des masques et des wafers) d'occasion à vendre
KLA Corporation, anciennement connue sous le nom de KLA-Tencor, est un fabricant leader de solutions avancées de contrôle des procédés et de gestion des rendements pour l'industrie des semi-conducteurs. Leur ligne INSPEX d'équipement d'inspection de masque et de plaquettes fournit des solutions complètes et fiables pour garantir la qualité et l'intégrité des masques et plaquettes semi-conducteurs. Les systèmes INSPEX de KLA utilisent des technologies optiques de pointe et des algorithmes pour détecter et classer avec précision les défauts sur les masques et les plaquettes. Ces unités sont équipées de capacités d'imagerie haute résolution, leur permettant de capturer des images détaillées des échantillons, d'analyser les données et d'identifier les anomalies ou défauts éventuels. Ils fournissent des résultats d'inspection rapides et fiables, aidant les fabricants de semi-conducteurs à améliorer leur rendement et à réduire les coûts de production. Un des analogues produits par KLA est le système TPC 8520. Il est conçu pour l'inspection rapide des masques critiques utilisés dans les procédés de lithographie avancés. Le TPC 8520 offre une excellente sensibilité à la détection des défauts, tout en maintenant de faibles taux de fausses détections, garantissant une qualité d'inspection élevée. Un autre exemple est le système Eagle, qui est optimisé pour l'inspection des plaquettes. L'Aigle fournit une détection précise et à haut débit des défauts, capable de détecter divers types de défauts, tels que les particules, les rayures et les écarts de motifs. Il convient à la fois pour les semi-conducteurs avant et arrière. L'EX 3500 est un autre système d'inspection de masque offert par l'UCK. Il dispose d'une technologie avancée d'imagerie ultra-violette profonde (DUV) qui permet une détection et une classification précises et fiables des défauts. L'EX 3500 est capable d'inspecter un large éventail de types de masques, y compris des masques binaires, des masques à déphasage atténués (EAPSM) et des masques à déphasage à ouverture alternée (Alt-PSM). Dans l'ensemble, les masques INSPEX et les appareils d'inspection des plaquettes KLA fournissent aux fabricants de semi-conducteurs des solutions de pointe qui leur permettent d'assurer la qualité et la fiabilité de leurs produits, d'améliorer le rendement et de réduire les coûts de production.
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