Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9004619 à vendre en France
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Vendu
ID: 9004619
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 2006
Wafer inspection system, 8" (6" applicable)
Pixel SIzes:
0.25, 0.62, 0.39, 1.25
Operating System: Windows NT
AutoSAT
ADC: NA (additional cost)
MM2
Automation: GEM/SECS
Handler
(2) Port Open Cassette
2006 vintage.
KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP est un masque haut de gamme et un équipement d'inspection de plaquettes conçu pour les applications critiques les plus exigeantes. Avec une optique supérieure, une conception mécanique et une conception électronique, il offre un débit beaucoup plus élevé, une meilleure résolution et une analyse plus complète des plaquettes. Ce système est conçu pour répondre aux exigences de fabrication strictes de l'industrie des semi-conducteurs et est une solution idéale pour inspecter les masques et les dispositifs microélectroniques les plus difficiles. Le KLA 2138 XP est doté d'une unité optique-mécanique hybride qui permet à la fois une analyse détaillée des particules et des performances rapides. La machine optique comprend un miroir dichroïque qui transmet et réfléchit la lumière à partir de différentes entrées de directivité et de technologies d'imagerie fullfilm et sub-micron. Le miroir est capable de capter la lumière de l'avant et de l'arrière de la plaquette, permettant des images tridimensionnelles précises des défauts. Il met également en évidence les défauts les plus faibles, les rendant facilement identifiables dans les images. L'architecture mécanique de TENCOR 2138 XP est conçue pour inspecter rapidement et avec précision les grandes et les petites surfaces. Sa capacité de débit élevée et ses commandes sophistiquées le rendent bien adapté pour la correction en grand volume des défauts critiques sur les masques et les circuits. Il présente une sensibilité élevée, avec une zone sensible pouvant atteindre 8,5 µm et une plage étendue allant jusqu'à 15 µm. Dans l'ensemble, il peut inspecter jusqu'à 1000 plaquettes par heure, ce qui lui confère un avantage d'efficacité remarquable par rapport aux autres systèmes. L'outil intègre également les dernières technologies d'imagerie électronique haute résolution pour détecter même les défauts les plus infimes. L'outil d'imagerie électronique s'intègre parfaitement au modèle d'inspection optique-mécanique pour fournir un champ de vision étendu, une grande précision de détection et un large éventail de caractéristiques analytiques utiles. Au total, 2138 XP offre des capacités supérieures d'inspection des masques et des plaquettes pour l'industrie des semi-conducteurs. Ses technologies d'imagerie optique, mécanique et électronique de pointe offrent vitesse, précision et fiabilité, ce qui en fait le choix idéal pour inspecter les appareils microélectroniques les plus complexes d'aujourd'hui.
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