Occasion KLA / TENCOR / PROMETRIX 2138 XP #9229839 à vendre en France

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ID: 9229839
Taille de la plaquette: 8"
Wafer inspection system, 8".
KLA/TENCOR/PROMETRIX 2138 XP est un masque optique haute vitesse et un équipement d'inspection des plaquettes qui peut mesurer les paramètres critiques du dispositif dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Ce système est conçu pour détecter les défauts potentiels des dispositifs semi-conducteurs, en veillant au maintien du niveau de qualité et de fiabilité. Il inspecte jusqu'à 8 pouces de diamètre de plaquettes et matériaux de substrat, et fonctionne à des vitesses élevées allant jusqu'à 2000 plaquettes par heure (WPH). KLA 2138 XP dispose d'un design unique en 4 colonnes, qui permet deux canaux indépendants et deux sites d'inspection simultanés. Ceci permet de capturer au moins deux fois plus d'images (jusqu'à 160 000 images par heure) par rapport à d'autres systèmes classiques d'inspection de masques. De plus, les deux sites d'inspection parallèles rendent l'unité bien adaptée aux comparaisons de processus côte à côte, comme celles nécessaires en lithographie ou en comparaisons d'implants. La machine dispose de plusieurs capteurs qui surveillent chaque étape du processus d'inspection. Cela inclut les capteurs avancés de rugosité de bord de ligne (LER), les interféromètres, les rayons gamma et la détection en front d'onde. Chacun de ces capteurs mesure différents attributs qui sont essentiels pour détecter, classer et corriger les défauts. TENCOR 2138 XP utilise également Defect Global Enhancement (DGE), un algorithme propriétaire avancé, pour détecter rapidement les défauts aux grandes et petites dimensions sur de grandes surfaces. Grâce à sa conception innovante, l'algorithme DGE peut analyser de petites particules provenant de milieux de plaquettes, et identifier les défauts dans le traitement du signal sans défaut. L'outil dispose de divers logiciels qui lui permettent d'inspecter la plupart des types de substrats - comme Solar, MEMS, LCD et OLED - et fournit des résultats détaillés avec une résolution de sous-microns. Il est également livré avec la technologie de compensation 3-D intégrée qui peut ajuster et corriger les images pour assurer la précision et la précision. Enfin, l'actif est équipé de systèmes de fichiers sécurisés, ce qui permet un stockage sécurisé basé sur les identifiants et la protection des données. Dans l'ensemble, PROMETRIX 2138 XP est un modèle d'inspection de masque et de plaquette incroyablement puissant et fiable qui est conçu pour inspecter les meilleurs dispositifs semi-conducteurs avec une précision et une vitesse impressionnantes. Avec ses capteurs avancés, ses algorithmes exclusifs et sa protection sécurisée des données, cet équipement est un excellent choix pour toute fonderie à semi-conducteur cherchant à garantir une qualité et une fiabilité de pointe.
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