Occasion KLA / TENCOR SCD-XT #293766657 à vendre en France

KLA/TENCOR SCD-XT est un équipement d'inspection de masque et de wafer de pointe conçu pour maximiser le débit tout en fournissant des résultats d'inspection de la plus haute qualité. Le système se compose d'une unité avancée de livraison de faisceau, l'ensemble optique, et la tête de capteur tous conçus pour l'imagerie supérieure. KLA SCD-XT utilise un faisceau d'électrons à balayage avancé qui est guidé par une technologie de miroir déformable (DM) qui permet un placement avancé de pixel avec une taille de tache nette pour fournir une inspection extrêmement haute résolution. Cette technologie couplée à une sonde optique avancée et à un détecteur sensible à la position (PSD) permet une capture d'image précise et efficace. La machine de livraison de faisceau avancée utilisée sur TENCOR SCD-XT assure un débit de dose élevé permettant un débit plus élevé tout en contrôlant la dose de faisceau d'électrons pour maximiser le contraste d'amélioration de détail et minimiser la superposition. L'outil utilise également une optique de focalisation macro-variable qui permet l'imagerie à partir d'un large éventail de niveaux de processus et à toutes les couches de processus. Cette technologie d'imagerie de pointe permet de mesurer l'épaisseur de la couche de circuit, de mesurer les paramètres de recouvrement et d'inspecter la couche de processus pour vérifier les zones potentiellement préoccupantes. L'ensemble optique est encore amélioré avec des optiques micro-variables à haute résolution qui sont utilisées pour la détection de bord de fonctionnalité et l'imagerie transversale pour détecter et quantifier avec précision les différences d'attributs de fonctionnalité résultant de la variation du processus de fabrication. L'actif comprend également une puissante tête de capteur avec une technologie d'alignement virtuel avancée pour la collecte de données. Cette technologie de pointe permet une précision et une répétabilité inégalées dans un large éventail d'angles d'inspection. Le logiciel disponible pour SCD-XT offre également un fonctionnement convivial et une interface graphique intuitive. KLA/TENCOR SCD-XT est idéal pour les applications d'inspection de masques et de plaquettes dans une gamme de procédés de fabrication de semi-conducteurs. En combinant des technologies d'imagerie avancées avec un modèle d'exploitation simple, KLA SCD-XT améliore les marges de rendement tout en fournissant des résultats d'inspection de qualité supérieure.