Occasion KLA / TENCOR SL301 #9251376 à vendre en France

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ID: 9251376
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1997
Reticle pattern inspection system, 6" Inspection options: Die to die comparison Contamination inspection Does not include die to database verification Single laser illumination source Bright-field images of transmitted and reflected light Loader Main body Image computer Database Transformer Accessories Cables KLA / TENCOR 95: 20 VAC, 50/60 Hz KLA / TENCOR SL300 IC-IC: 208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz TRU-STONE Granite blocks CE Marked Power: 208 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz 1997 vintage.
KLA/TENCOR SL301 est un équipement de pointe d'inspection des masques et des plaquettes utilisé pour la production de semi-conducteurs. Les caractéristiques du système fournissent aux ingénieurs et aux techniciens des capacités de métrologie complètes pour assurer le contrôle des processus et l'assurance de la qualité. KLA SL301 comprend une chambre d'inspection de 200 mm/300 mm qui accueille des substrats tels que des plaquettes de silicium, des plaquettes semi-conductrices composées, des emballages IC et des structures MEMS avancées. L'unité offre une foule d'options d'imagerie qui comprennent CCD, photorésist, et des mesures diélectriques à bas et haut K. La machine TENCOR SL301 exécute un logiciel propriétaire pour faciliter la détection des défauts en temps réel et fournit aux utilisateurs de nombreux outils pour reconstruire la forme 3D des défauts pour évaluer les qualités de surface. Les différentes étapes de l'inspection comprennent le chargement manuel du substrat via un bras de robot, la mesure des caractéristiques et l'inspection des défauts. De plus, l'outil est équipé de divers dispositifs d'automatisation, tels qu'un lecteur de codes-barres et un piège à lumière pour éviter les dommages ou la contamination du substrat. SL301 est équipé d'une fonction de contrôle automatique de la focalisation (AFC) qui assure une focalisation adéquate pendant un balayage. Il abrite également une conception optique améliorée qui assure la résolution critique des défauts. L'actif KLA/TENCOR SL301 utilise également une lentille télécentrique haute résolution qui est capable d'inspecter diverses fonctionnalités sur des structures complexes, sans avoir besoin de réticules. En outre, il est compatible avec un large éventail d'outils d'imagerie, tels qu'un mandrin électrostatique MEMS pour améliorer les performances. Le modèle est livré avec une interface utilisateur intuitive qui permet aux utilisateurs de surveiller, configurer et analyser l'équipement rapidement et efficacement. Il présente également une gamme de modèles de mesure qui peuvent être personnalisés en fonction des besoins spécifiques de l'utilisateur. De plus, le système dispose de plusieurs coffres-forts qui protègent l'équipement et l'opérateur de tout dommage potentiel. Globalement, KLA SL301 est un masque idéal et une unité d'inspection des plaquettes pour tout environnement de production. Il offre une gamme complète de fonctions d'imagerie, de détection des défauts et de contrôle des processus pour fournir aux ingénieurs et techniciens une résolution précise des défauts et des capacités améliorées de contrôle des processus. Enfin, son interface utilisateur intuitive rend la machine facile à utiliser pour les opérateurs de tous niveaux de compétence.
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