Occasion KLA / TENCOR SL303UV #293751660 à vendre en France

KLA / TENCOR SL303UV
ID: 293751660
Reticle inspection system Pixel size: P150, P250, P375.
KLA/TENCOR SL303UV Mask and Wafer Inspection Equipment est une technologie de contrôle de processus de qualité supérieure conçue pour aider à la mise au point de produits sans défaut provenant des opérations de processus de wafer à haut volume. Utilisant les dernières technologies d'optique, de mouvement et d'imagerie, KLA SL303UV fournit un moyen fiable d'inspecter les plaquettes et les masques pour détecter les facteurs électro-optiques, thermiques, mécaniques, chimiques et autres qui peuvent affecter la qualité du produit. L'inspection optique est au cœur du système TENCOR SL303UV, qui offre des capacités parallèles et d'auto-étalonnage. Sa tête de balayage exclusive utilise des algorithmes de balayage rapide pour capter le signal et le bruit provenant de deux zones d'imagerie distinctes pour une acquisition de données plus rapide. Son unité d'acquisition d'images de plaquettes offre à la fois un balayage automatisé de grille et une inspection visuelle par masque, tandis que sa machine d'éclairage LED exclusive offre une large gamme de spectres de longueur d'onde et de contrôle d'intensité variable pour inspecter les tâches de reconnaissance d'images et de fonctionnalités. SL303UV comprend également des outils tels qu'un processeur de vision intégré pour aider les utilisateurs à prendre des décisions rapides et à automatiser les processus. Il contient une suite d'algorithmes d'auto-étalonnage incluant l'alignement 2D, la quantification 3D, l'analyse des couleurs et la correction de l'ombre pour améliorer l'analyse et la cohérence. L'outil aide également à réduire les fausses alarmes grâce à la détection avancée des aberrations, à la mesure de l'aberration et à un programme automatisé d'évaluation des défauts. Ses capacités d'inspection des plaquettes comprennent l'inspection du profil mécanique des plaquettes, l'analyse thermique et des contraintes, la reconnaissance des motifs et l'analyse morphologique. Ses capacités d'inspection des masques comprennent l'imagerie à fort grossissement, les dimensions critiques optiques, l'analyse d'images aériennes et la comparaison exacte des images pour la détection de défauts multicouches. L'actif permet également l'inspection des défauts causés par les taches diélectriques, les particules ou les rayures, avec mouvement intégré et optique assurant un positionnement précis des plaquettes pour une répétabilité et un débit améliorés. Pour la surveillance et le contrôle, KLA/TENCOR SL303UV utilise un contrôleur 16 canaux, qui comprend les pilotes pour le contrôle et le réglage des mouvements x/y/z, les codeurs de moteur, les sources lumineuses de modèle et les conducteurs LED. Le contrôleur comprend également une gamme de fonctions d'analyse numérique pour interpréter les résultats et apporter des corrections. Les fonctions de gestion des données de l'équipement permettent aux utilisateurs d'accéder facilement aux résultats d'inspection, de les stocker et de les analyser, tandis que ses fonctions de génération de rapports permettent aux utilisateurs de créer des rapports professionnels pour une évaluation plus poussée. En utilisant les outils matériels et logiciels avancés de KLA SL303UV, les opérateurs peuvent rapidement identifier et corriger les défauts dans leurs processus de wafer et de masque.
Il n'y a pas encore de critiques