Occasion KLA / TENCOR SL515 #9032013 à vendre en France
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ID: 9032013
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Mask inspection system, 12"
2 LP, 1 CHM, 1 ARM/1 LP, 1 CHM , 1 Laser
(1) Loadport (Asyst)
Loadports carrier reader: RFID type
Robot: KLA design
Light source: Coherent laser, FRED, ASSY, HP 257nm (SHG of 514nm by the BBO crystal)
Function: Inspection mask surface's haze
Components:
Power condition (for UIC)
UM
Power condition (for UM)
RLS
UIC
Operation con
Operation con (SunBlade 2000)
IAS
KLA 95i
Operation con (printer)
Parts missing:
FRU, MODULE BEAM STAB, 5XX
FRU, MODULE DIFFUSER, 5XX
2007 vintage.
KLA/TENCOR SL515 est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour être utilisé dans le processus de fabrication des semi-conducteurs. Ce système utilise l'imagerie haute résolution et la métrologie pour inspecter chaque masque et chaque plaquette jusqu'à l'échelle du nanomètre. Avec son taux d'acquisition rapide, KLA SL515 réduit le temps d'inspection et améliore la qualité du produit. L'imagerie KLA SL515high-resolution est réalisée grâce à une source de lumière LED numérique utilisée en combinaison avec un écran de 20 pouces. L'affichage offre une vue claire des masques et des plaquettes, et permet d'identifier facilement les défauts. L'unité dispose également d'une machine de métrologie intégrée qui mesure la taille, la forme et la distribution des défauts. Ces données sont ensuite stockées dans une base de données pour analyse et comparaison ultérieures. L'outil dispose également d'algorithmes automatisés de détection et de classification des défauts qui permettent d'identifier rapidement et avec précision les défauts. Cette fonctionnalité permet d'économiser du temps et de l'argent en éliminant l'inspection humaine. L'actif peut également identifier les problèmes de contrôle des processus qui peuvent entraîner des retards coûteux dans le retravaillement et la production. TENCOR SL 515 est une solution idéale pour l'inspection des masques et des plaquettes car elle fournit des données rapides et fiables et une excellente résolution. Ce modèle répond aux exigences strictes du processus de fabrication des semi-conducteurs et garantit que les produits livrés au client sont de la plus haute qualité. Les algorithmes automatisés de détection et de classification des défauts permettent également de gagner du temps et de l'argent en éliminant les inspections manuelles coûteuses.
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