Occasion KLA / TENCOR SP1 Classic #9229734 à vendre en France
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ID: 9229734
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 1997
Inspection system, 12"
Single FOUP loader
Puck handling
1997 vintage.
KLA/TENCOR SP1 L'équipement classique d'inspection des masques et des plaquettes est un système d'inspection optique avancé, sans contact, basé sur la reconnaissance des motifs optiques, utilisé pour une variété de dispositifs 2D, y compris la disposition des puces, les masques de lithographie, les cartes de circuits imprimés (PCB), et dans l'inspection des photomasques pour la fabrication des circuits intégrés (IC). Il est conçu pour détecter des défauts dans des structures allant de petits circuits à de grands réseaux de puces. KLA SP1 Classic offre une reconnaissance de motif précise et rapide, permettant aux utilisateurs d'identifier rapidement les défauts et anomalies du masque ou de la plaquette. Il offre une imagerie haute résolution avec une résolution maximale de 0,3 μ m, ce qui lui permet de détecter de petits défauts. De plus, une unité de stockage de données haute performance assure une récupération rapide et efficace des données. Pour l'inspection des masques et des plaquettes, la machine comprend un microscope optique avancé d'imagerie, des séparateurs de faisceau, des diodes laser et laser calibrées, un détecteur linéaire de réseau de diodes linéaires et un ordinateur de traitement d'image numérique. Le microscope est équipé d'une caméra CCD haute résolution de 12 pouces carrés. On obtient ainsi une image du masque ou de la plaquette qui est alors projetée sur les séparateurs de faisceau. Les deux faisceaux fendus sont alors focalisés et dirigés par un ensemble de miroirs activement stabilisés. Ceci crée un motif d'interférence, qui est capturé par le détecteur de réseau de diodes linéaires et transmis à l'ordinateur de traitement d'image numérique. L'ordinateur de traitement d'image numérique traite ensuite le motif d'interférence pour identifier les défauts dans le masque ou la plaquette. En plus de l'inspection des masques et des plaquettes, l'outil peut également être utilisé pour l'acquisition de réticules. Le module d'acquisition des réticules permet de s'assurer que les masques et les plaquettes sont tous mesurés et inspectés avec précision pour obtenir les résultats les plus précis. L'utilisation du masque et du matériel d'inspection TENCOR SP 1 CLASSIC permet aux utilisateurs de vérifier rapidement et avec précision les défauts des masques et des plaquettes et de réduire considérablement les coûts de fabrication. Ses capacités d'imagerie haute résolution et de récupération rapide de données rendent ce modèle bien adapté à une variété d'applications.
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