Occasion KLA / TENCOR SP1 Classic #9262584 à vendre en France

ID: 9262584
Wafer surface analysis system Does not include loader.
KLA/TENCOR SP1 L'équipement classique d'inspection des masques et des plaquettes est un système intégré haute performance qui offre des capacités supérieures d'inspection des motifs et des défauts pour les procédés avancés de semi-conducteurs et de lithographie. Il est conçu pour répondre aux exigences spécifiques de l'industrie des semi-conducteurs, en fournissant une inspection précise et fiable des masques et des plaquettes pour une variété de paramètres, y compris la mesure des dimensions critiques (CD), le positionnement des superpositions et l'inspection des défauts. KLA SP1 Classic dispose de la technologie de traitement d'image unique KLA QuadraVista™, qui utilise des algorithmes brevetés pour fournir une précision et une résolution ultra-élevées dans la détection des défauts. QuadraVista offre un contraste d'image supérieur et une réduction du bruit, assurant une excellente sensibilité et fiabilité dans la détection des défauts. Avec une automatisation sophistiquée et une facilité d'utilisation, TENCOR SP 1 CLASSIC est conçu pour réduire le temps de traitement des données et l'interaction manuelle des opérateurs. SP1 Classic est équipé d'un détecteur de champ de vision linéaire à haute résolution (FOV) et utilise la technologie Double-Pass Focus pour mesurer avec précision les caractéristiques optiques et les performances de recouvrement. L'inspection des défauts peut être effectuée dans une variété de modes, y compris le défocus aérien, le défocus d'ouverture et l'inspection par image. L'unité dispose également d'algorithmes de classification automatique des défauts qui peuvent identifier avec précision et rapidement les défauts subtils, tels que le bord local et la rectitude. TENCOR SP1 Classic est conçu pour faciliter l'étalonnage automatisé rapide et la mesure des dimensions critiques (CD). À l'aide d'un étage de haute précision et de techniques de scatterométrie laser, il est capable de mesurer des CD avec des tolérances aussi faibles que 0,2 micron. La machine dispose également de capacités de contrôle d'automatisation et de surveillance des erreurs, permettant un fonctionnement efficace et sans erreur de l'outil. KLA SP 1 CLASSIC est alimenté par un actif d'exploitation Linux™ et un processeur Intel®, offrant un fonctionnement fiable et efficace. Son architecture modulaire le rend hautement évolutif, ce qui lui permet de répondre aux besoins changeants de l'industrie des semi-conducteurs. De plus, le modèle est disponible avec une variété d'options, y compris une source d'éclairage DUV avancée, des capacités d'inspection multi-têtes, et une configuration de scène globale. SP 1 CLASSIC est un excellent choix pour les applications avancées de métrologie des semi-conducteurs. Il offre des capacités de traitement d'image supérieures, un profilage de haute précision et une inspection rapide des plaquettes, ce qui le rend idéal pour des applications de production et de métrologie à grande vitesse.
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