Occasion KLA / TENCOR SP1-DLS #9181648 à vendre en France

KLA/TENCOR SP1-DLS est un équipement avancé d'inspection de masque et de plaquettes qui fournit des résultats de haute qualité pour les applications de contrôle de processus. C'est un système robotique entièrement automatisé et de haute précision qui permet une analyse économique des plaquettes semi-conductrices pour la détection des défauts. L'unité est conçue spécifiquement pour la contrôlabilité et la facilité d'utilisation, ce qui en fait le choix idéal pour les laboratoires d'inspection des plaquettes et les ingénieurs de processus responsables de l'analyse des plaquettes. Le « KLA SP1 DLS » signifie « Scanning Probe 1 - Defect Localization Machine » et se compose des composants suivants : Sonde de balayage SP1 - Équipée d'un scanner piézoélectrique, la sonde de balayage SP1 déplace la plaquette sous les microscopes ultra-haute résolution pour inspecter les défauts. Il a une vitesse maximale de déplacement de l'échantillon de 5 mm/s, et est capable de détecter de petits défauts qui sont aussi petits que 0,6 μ m. Détecteur infrarouge (IR) - Un détecteur infrarouge (IR) est utilisé pour détecter rapidement les défauts sur la surface de la plaquette. Il a la capacité de combiner plusieurs techniques d'inspection, y compris la réflectance infrarouge, l'imagerie de contraste, la détection des bords et l'empilement des couleurs. Appareil à couplage chargé (CCD) Caméra - Une caméra CCD haute résolution peut prendre des images haute définition capture des défauts à l'aide d'une gamme de 6 pouces. La caméra est capable de fournir des images précises et une analyse détaillée des défauts. Outil laser - Un actif laser est utilisé pour inspecter le dos d'une plaquette pour mesurer la présence de défauts qui ne peuvent pas être vus sous les microscopes. Il utilise des algorithmes avancés de détection et d'analyse laser pour détecter et mesurer de minuscules défauts. Modèle de capture d'images - Un équipement de capture d'images est utilisé pour stocker et analyser les images à haute résolution qui sont capturées par la caméra CCD. Les images peuvent être analysées à l'aide de logiciels, et les résultats peuvent être utilisés pour évaluer et optimiser le processus de fabrication global. Le système TENCOR SP 1-DLS est conçu pour des résultats d'inspection des plaquettes efficaces, fiables et reproductibles. Il est équipé d'une technologie opto-mécanique, électronique et logicielle de pointe pour maximiser la qualité et le rendement. L'unité est conçue pour répondre à la demande rigoureuse de l'industrie des semi-conducteurs et est certifiée conforme aux normes internationales. La machine DLS TENCOR SP 1 est parfaitement adaptée aux applications agnostiques, d'inspection des semi-conducteurs et de contrôle des processus.