Occasion KLA / TENCOR SP1-DLS #9202491 à vendre en France

KLA/TENCOR SP1- DLS™ est un équipement entièrement automatisé, masque haute résolution et d'inspection des plaquettes qui utilise l'imagerie numérique avancée et algorithmes computationnels pour identifier les défauts sur les masques et les plaquettes de semi-conducteur. Le système a la capacité de détecter les défauts de petite et grande surface avec une taille aussi petite que 25nm. Il est également capable de mesurer des largeurs de ligne aussi petites que 10nm. L'unité dispose d'une solution d'inspection robuste de 300mm qui est configurable en fonction du travail. KLA SP1 DLS a un grand champ de vision de 6.4um et peut être étendu jusqu'à 16um selon les besoins. Cela aide à augmenter le débit et la précision pour les grandes surfaces. Il dispose également d'un zoom optique allant jusqu'à 256x et d'une vitesse d'inspection améliorée allant jusqu'à 100 points/seconde. La machine a la capacité d'effectuer des inspections de champ lumineux et de champ sombre, lui permettant de détecter des défauts encore plus petits. TENCOR SP 1-DLS utilise la technologie de mesure exclusive KLA, qui combine des mesures de haute précision et de haute résolution avec des images couleurs acquises simultanément. Cela permet la reconnaissance rapide d'une grande variété de types de défauts et aide à la sélection des actions de réparation les plus appropriées pour chaque défaut. L'outil contient également un logiciel de visualisation des défauts très sophistiqué qui lui permet de sélectionner avec précision le meilleur algorithme de détection et de réparation des défauts en fonction des caractéristiques particulières de la plaquette ou du masque cible. Cela permet de s'assurer que l'actif répond aux exigences précises des différents emplois. Le modèle dispose également d'un alignement 5 Axes, qui permet des mesures 3D rapides et précises de diverses géométries compliquées, telles que des motifs qui sont encastrés ou superposés par d'autres caractéristiques. Cette fonction réduit le temps de cycle total du processus d'inspection et aide à améliorer le débit. En plus de ses capacités avancées de mesure et d'inspection, TENCOR SP1-DLS offre également une large gamme d'options d'intégration et d'automatisation, y compris des recettes légères automatisées, un bâtiment de bibliothèque, une bibliothèque de recettes et une base de données avancée sur les défauts. L'équipement comprend également des inspections préalables et postérieures au processus pour s'assurer que tous les défauts constatés sont correctement identifiés et réparés. Dans l'ensemble, TENCOR SP 1 DLS est un système compact, rapide et très précis d'inspection des masques et des plaquettes, qui permet une inspection et une réparation rapides et fiables des défauts. L'unité est capable d'imagerie haute résolution et de mesure haute vitesse, ce qui en fait une solution d'inspection idéale pour un large éventail d'applications.