Occasion KLA / TENCOR SP1-DLS #9211112 à vendre en France
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Vendu
ID: 9211112
Wafer surface analysis system, 12"
With backside inspection module
Includes:
Defect sensitivity: .050 um
Enhanced edge exclusion
Enhanced rough film sensitivity
Argon ion laser: 488 nm
(4) Dark field collection channels:
Normal wide
Normal narrow
Oblique wide
Oblique narrow
RTDC
Map to map
Measurement chamber with ULPA filter and blower unit
Operator interface
Operating system: Microsoft windows NT 4.0
Interactive pointing device
Keypad controls
TFT Flat panel display, 18"
Parallel printer port
Defect map and histogram with zoom
Microview measurement capability
Part number / Description
0042021-000 / Edge handling 12"
0042027-000 / Dual FIMS 12", bulkhead with backside inspection module, dual FOUP Handling module ASYST, edge handling, bulkhead mounted with dual UI, FLECWA
0025832-000 / 45A/250V, Domestic voltage requirement
547301 / Bulkhead UI, dual FIMS, SP1
571237 / System, DLS
571075 / Bright field, dual plane bright field, run simultaneously with dark field normal / Dark field oblique
515990 / XY Coordinate
570133 / 4 Color light tower
0028618-000 / Backside inspection option, backside inspection module requires edge handling
CALCURV-SPO3 / Cal curve oblique, 12"
543047-12 / SP1 DLS Conformance test document (CTD)
528080 / HSMS
RFE5-18036 / E87 Carrier management services
RFE55-20835 / E 40 / E 94 Process job management / Control job management and E 90 Substrate tracking
0043182-000 / Carrier ID hermos single wire
2002 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS est un équipement d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour fournir une analyse rapide et non destructive des masques et des plaquettes. Il est basé sur le système MCD (Multi-Chromatic Differential Defect), qui utilise une combinaison de vues de champ clair et sombre pour détecter de petits défauts rapidement et avec précision. L'unité est composée de plusieurs composants principaux : l'optique d'imagerie, le capteur d'imagerie et le contrôleur. L'optique d'imagerie comprend trois iris, deux objectifs, deux filtres et un tableau de microlentilles. Ces composantes travaillent ensemble pour maximiser la résolution et le contraste des échantillons examinés et sont spécifiquement conçues pour maximiser l'efficacité de la détection basée sur les MCD. L'optique fournit également le focus et le grossissement pour la capture d'image précise. Le capteur d'imagerie est placé derrière l'optique et travaille en conjonction avec l'optique pour capturer les images de l'échantillon. C'est une caméra de balayage de ligne, qui est capable de capturer jusqu'à 16 millions de pixels. Cette machine fournit une imagerie rapide et haute résolution pour l'inspection des masques et des plaquettes. Le contrôleur est un processeur de vision machine avancé qui est spécifiquement conçu pour fonctionner avec l'outil KLA SP1 DLS. Il est responsable de la gestion de la capture d'image, du traitement des images et de la communication des résultats. Il dispose d'un bouton-poussoir, d'une acquisition rapide d'images et de rapports complets de défauts pour une précision et une répétabilité accrues. TENCOR SP 1-DLS est un outil puissant et fiable pour l'inspection non destructive des masques et des plaquettes. Son outil de détection basé sur MCD fournit une analyse rapide et précise des défauts, tandis que son optique d'imagerie complète et son capteur d'imagerie maximisent la résolution et le contraste des images examinées. Le contrôleur de vision automatique assure un traitement rapide et efficace de l'image et un signalement détaillé des défauts. Avec tous ces composants travaillant ensemble, le modèle KLA SP1-DLS est parfait pour les applications qui nécessitent une inspection rapide et précise.
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