Occasion KLA / TENCOR SP1-DLS #9215544 à vendre en France
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ID: 9215544
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Particle measurement system, 12"
Light source: Solid state laser
Laser wavelength: 488 nm
Laser power: 75 mW
Normal incidence: 77 nm (90°)
Oblique incidence: 50 nm (20°)
Operating system: Windows XP Servicepack2
2006 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour assurer une détection et une analyse rapides et fiables des défauts des plaquettes et des masques à semi-conducteurs. Le système est construit sur KLA technologie d'imagerie de pointe éprouvée pour garantir le plus haut degré de précision et de fiabilité. Cette unité automatisée est conçue pour une production à haut rendement dans des environnements exigeants et de volume élevé et est adaptée pour être utilisée dans les installations de fabrication de semi-conducteurs, le développement de circuits intégrés et de processus de matériaux électroniques et le trepannage et la métrologie en ligne. KLA SP1 DLS utilise des optiques CCD haute résolution pour produire des images haute résolution, pleine image de la surface et du masque de la plaquette, puis superposer des motifs de contenu attendu sur les images acquises. Cela permet une détermination et une caractérisation des défauts plus précises et très fiables. Les images détaillées peuvent être encore améliorées avec des techniques de rétroéclairage et/ou d'éclairage latéral, et offrent une plus grande fidélité à l'imagerie que les méthodes photographiques traditionnelles. La machine est chargée d'une variété d'algorithmes avancés pour la classification des défauts et la discrimination, tels que Rayleigh-Salomon et/ou Parametric Contouring with Advanced Image Processing (PCAIP). Il utilise également un certain nombre de types et de modèles de défauts pour la comparaison avec les contours attendus. Cette combinaison d'algorithmes et de technologies permet une plus grande sensibilité et précision de la détection des défauts, ce qui permet à son tour d'améliorer le contrôle des processus et le développement de modèles de processus prédictifs. TENCOR SP 1-DLS est un outil autonome qui nécessite une installation minimale. Il suffit de placer l'échantillon dans la chambre de balayage peu profonde et l'actif prendra soin du repos. Il est équipé d'un écran tactile écran LCD pour un fonctionnement facile et offre une gamme d'options logicielles pour l'acquisition de données, l'analyse et la détermination des défauts. La grande surface de balayage jusqu'à 150 mm x 100 mm peut accueillir jusqu'à 5 plaquettes à la fois, et le taux de trame est réglable de 40 à 200 trames par seconde. KLA SP1-DLS est conçu pour augmenter le débit et réduire les coûts en fournissant un débit plus élevé, une reconnaissance et une caractérisation plus rapides des défauts, et la compatibilité avec une variété d'autres produits dans l'industrie des semi-conducteurs. Il réduit également le risque d'erreurs et de défauts perturbateurs dans les produits finis. De plus, le KLA/TENCOR SP1 DLS est facile à utiliser, avec un fonctionnement intuitif et convivial, et fournit une documentation complète, ce qui réduit les temps d'embarquement et les courbes d'apprentissage.
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