Occasion KLA / TENCOR SP1-DLS #9219037 à vendre en France

KLA/TENCOR SP1-DLS est un équipement de nouvelle génération d'inspection de masques et de plaquettes spécialement conçu pour l'inspection de processus de semi-conducteurs arrière. Le système utilise une technologie d'inspection avancée pour détecter et identifier les défauts sur toutes les couches d'un dispositif semi-conducteur avec une précision impressionnante de 99,99 %. Cette unité est basée sur le Stealth DMD (Digital Micro-mirror Device) primé, qui lui donne la capacité d'automatiser l'inspection des appareils rapidement et avec précision. Le DMD Stealth offre une large gamme de capacités de détection, y compris un réseau d'imagerie de 30 000 pixels qui permet l'inspection du signal et des défauts pour toutes les couches de métal et d'interconnexion, ainsi que l'enregistrement amélioré des masques de couleur, l'analyse et la vérification des défauts. KLA SP1 DLS dispose d'une large gamme de capacités d'inspection, allant de l'analyse de la matrice unique à l'inspection des grandes plaquettes. Il peut détecter de très petits défauts avec une résolution de 25nm, et est capable de caractériser les défauts pour l'analyse des défauts au niveau de la plaquette, le regroupement des défauts, l'analyse des défauts étendus et la classification des défauts étendus. La machine peut également analyser une gamme impressionnante de matériaux de substrat, y compris le silicium, le saphir, le quartz, le GaN et une large gamme de couches diélectriques ou conductrices. En outre, TENCOR SP 1-DLS est capable d'évaluer de nombreuses structures de dispositifs, tels que le câblage, DRAM, SRAM, cellules logiques, dispositifs MEMS et composants de puissance. Afin d'inspecter les productions avec un maximum d'efficacité, SP 1 DLS permet plusieurs configurations d'inspection de masques, qui peuvent être adaptées à des processus spécifiques. En outre, l'outil est équipé de fonctionnalités logicielles très avancées qui améliorent l'efficacité, telles que l'extraction automatique des défauts, l'analyse de signature die-by-die et des outils d'optimisation des rendements améliorés. La caméra réseau sophistiquée de KLA SP 1 DLS permet également de maximiser l'efficacité et la précision de l'appareil. Sa résolution de pixel est trois fois plus élevée que les systèmes d'inspection traditionnels, ce qui lui permet de capturer des images à haute résolution dans les directions verticale et horizontale. Il peut détecter jusqu'à 17 types de petits défauts qui seraient autrement impossibles à voir. SP1 DLS est le choix idéal pour l'inspection des procédés semi-conducteurs. Sa technologie d'inspection avancée, son large support de matériaux de substrat et sa précision imbattable en font le choix idéal pour toute entreprise à la recherche d'un masque et d'un équipement d'inspection des plaquettes fiables et efficaces.