Occasion KLA / TENCOR SP1-DLS #9221448 à vendre en France
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Vendu
ID: 9221448
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
System, 12"
Process: Contamination detection
Hardware configuration:
Main system: Main mini environment platform
SMIF System: (2) ASYST IsoPort
Handler system: ASYST Axys model 21 robot
Options:
Bright field
Vacuum system (Vacuum chuck)
E84: Overhead load system
Chamber components:
ARGON Laser JDS uni-phase 75mW
Chuck vacuum
2004 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS est un équipement d'inspection de masque et de plaquette de pointe conçu pour optimiser les processus d'inspection et d'analyse. Avec une optique avancée, un grand champ de vision (FOV) et une ultra haute résolution, KLA SP1 DLS fournit une solution automatisée pour identifier, caractériser et classer rapidement les défauts de surface sur les surfaces de masque et de plaquette. Les composants clés de TENCOR SP 1-DLS sont ses deux scanners laser (DLS) avec optique Quadray, permettant un balayage descendant simultané, un balayage latéral et une analyse d'image 2D. Ce système capte les informations critiques sur les défauts, ce qui permet une inspection et une analyse complètes de la surface du masque et de la plaquette. Pour optimiser l'inspection de surface, SP 1-DLS utilise des algorithmes avancés propriétaires pour analyser et classer les défauts en fonction de la forme, de la taille, de l'emplacement et du contraste optique. Grâce à cette caractéristique, les défauts de surface et les défauts non visibles peuvent être identifiés et classés. TENCOR SP1-DLS offre également des capacités de reporting complètes, permettant à l'utilisateur de générer des rapports prédéfinis ou personnalisés de haute qualité. Ces rapports détaillent l'information sur les défauts critiques, ce qui permet aux équipes d'ingénieurs de diagnostiquer, d'évaluer et de dépanner rapidement tout défaut de masque et de plaque applicable. KLA SP 1 DLS permet une intégration transparente avec d'autres logiciels et matériels, ou un ordinateur personnel basé sur l'hôte pour la gestion des données. Cette unité est également capable de gérer les défauts en temps réel et de notifier automatiquement les défauts inquiétants. Il offre également une fiabilité et une répétabilité supérieures, permettant aux clients d'évaluer avec précision et confiance les défauts de surface. TENCOR SP1 DLS est une solution leader dans l'industrie, fournissant une détection et une analyse précises des défauts, ainsi que la vitesse et l'efficacité pour améliorer le délai de mise sur le marché. Cette machine est capable de fournir une inspection et une analyse complètes et robustes, d'éliminer les temps d'arrêt et de réduire les coûts associés à l'inspection et à l'analyse manuelles. Le vaste champ de vision offre la souplesse nécessaire pour inspecter une variété de défauts de surface, tandis que l'optique avancée et le processus automatisé garantissent la précision et la fiabilité des défauts de surface. KLA/TENCOR SP 1 DLS est la solution parfaite pour l'inspection des masques et des plaquettes.
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