Occasion KLA / TENCOR SP1-DLS #9226889 à vendre en France

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ID: 9226889
Particle counter Process: Surface scan (2) Load ports with FOUP capable RFID Type: Load ports carrier reader Robot: ASYST Blower Light source: Argon ion laser Power: 30 mW Wavelength: 488 nm Resolution: 65 nm Function: (4) Dark field collections: Normal wide Normal narrow Oblique wide Oblique narrow Special functions: MAP to MAP RTDC (Real time defect classification).
KLA/TENCOR SP1-DLS est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour fournir une qualité d'image et une précision supérieures. Il exploite les technologies avancées d'optique, d'éclairage et de logiciel pour fournir une caractérisation des défauts très détaillée, une automatisation avancée et une grande facilité d'utilisation. Le système dispose d'une conception de détecteur personnalisée offrant une résolution supérieure à 6 mégapixels, permettant une précision accrue dans la détection des défauts de marquage et de contamination. L'unité d'optique permet d'obtenir de multiples objectifs permettant aux utilisateurs de sélectionner différents champs de vue et agrandissements. La machine dispose d'un module d'éclairage reconfigurable qui peut être configuré pour créer un contraste d'image de champ lumineux ou sombre selon les informations de défaut que les utilisateurs doivent vérifier dans l'image. La lumière permet d'inspecter des couches de diffusion complexes et peut détecter des lignes minces en rasoir et des minuscules, voire des défauts cachés. L'outil dispose d'une suite complète d'algorithmes propriétaires de mesure et de détection de défauts. Le logiciel avancé comprend une fonction d'auto-réglage qui réduit le besoin d'ajuster les paramètres algorithmiques. En conséquence, l'actif peut être rapidement et facilement configuré pour détecter et caractériser automatiquement des défauts aussi petits que six nanomètres de taille. En outre, la vitesse de traitement des algorithmes est plusieurs fois plus rapide que les générations précédentes de systèmes d'inspection des plaquettes, fournissant des résultats rapides et fiables à un prix plus compétitif. Pour s'assurer des résultats d'inspection exacts, KLA SP1 DLS dispose d'un modèle d'étalonnage validé et traçable. L'équipement utilise des plaquettes de référence indépendantes pour mesurer et corriger les performances non idéales de la machine ou les changements environnementaux. Cela garantit que la reconfiguration du système est réduite au minimum et que les résultats sont conformes aux normes de processus spécifiées. L'unité dispose d'une interface utilisateur graphique (interface graphique) facile à utiliser. L'interface graphique permet aux utilisateurs d'accéder rapidement à toutes les options de configuration de l'inspection et aux données pertinentes. Une sélection intuitive d'outils et de fonctions de rapport peut rapidement guider l'utilisateur vers les données pertinentes. En résumé, TENCOR SP 1-DLS est une machine d'inspection fiable et puissante qui offre une qualité d'image supérieure, une précision accrue et une configuration facile. Grâce à la conception de détecteurs personnalisés, à l'optique avancée et à une gamme complète d'algorithmes propriétaires, les utilisateurs peuvent être sûrs que l'outil fournira des résultats précis et efficaces.
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