Occasion KLA / TENCOR SP1-DLS #9267043 à vendre en France
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KLA/TENCOR SP1-DLS est un équipement de pointe d'inspection des masques et des plaquettes adapté aux applications les plus exigeantes dans la fabrication et l'ingénierie des plaquettes semi-conductrices. Il s'agit d'un système d'inspection complet capable de détecter de multiples défauts dans un large éventail d'applications. Les caractéristiques comprennent le balayage multi-faisceaux pour une sensibilité accrue, l'imagerie haute résolution pour la détection de petits défauts, la détection 3D à l'aide d'un éclairage oblique pour détecter les caractéristiques de surface et de sous-surface, les capacités de localisation des défauts pour le temps de cycle de réparation rapide des défauts et le débit élevé pour le traitement de plusieurs plaquettes à la fois. L'unité KLA SP1 DLS offre une solution flexible et économique pour inspecter les défauts avancés de point, de ligne et de surface. Il dispose d'une grande machine d'imagerie de champ pour l'inspection de grande surface et peut capturer des zones lumineuses, des zones sombres, la détection des bords, l'amélioration du contraste et des mesures 3D de surface jusqu'à 310 mm (12,2 po) de plaquettes. Il dispose également de diverses capacités d'analyse d'image pour détecter une grande variété de défauts pouvant survenir lors de la fabrication de semi-conducteurs. De plus, l'outil TENCOR SP 1-DLS offre des capacités de suivi d'image distinctes pour assurer la précision et la précision pendant le balayage. L'actif est également équipé de capacités d'éclairage avancées offrant une combinaison d'éclairages obliques et normaux, avec divers schémas de polarisation, pour détecter les défauts de surface et de sous-surface. Ceci permet à l'utilisateur de détecter des défauts difficiles à observer avec les techniques d'inspection traditionnelles, ainsi que d'améliorer la précision de localisation des défauts. Le modèle KLA SP1-DLS est capable de s'intégrer dans n'importe quel environnement de production. Il comporte également des fonctions de contrôle statistique en temps réel des processus (RCP) et de marquage des données pour la prise de décision rapide et la gestion des défauts. L'équipement offre une combinaison de logiciels et de matériel robustes, permettant des seuils de défauts en ligne puissants mais flexibles et des vitesses d'inspection. En outre, le système est conçu pour une installation, une intégration et une maintenance faciles, ce qui facilite l'utilisation et supporte des performances de débit élevées. En résumé, TENCOR SP1 DLS est une solution complète pour l'inspection des masques et des plaquettes conçue pour fournir une détection fiable, précise et rapide des anomalies et des défauts. Il s'agit d'une unité économique et conviviale adaptée aux applications d'inspection les plus exigeantes dans l'industrie des semi-conducteurs.
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