Occasion KLA / TENCOR SP1-DLS #9375212 à vendre en France

ID: 9375212
Style Vintage: 2006
Inspection system. 2006 vintage.
KLA/TENCOR SP1-DLS est un équipement d'inspection de masques et plaquettes développé par KLA, un fournisseur mondial de solutions de contrôle des processus et de gestion des rendements. Ce système est conçu pour permettre aux fabricants des industries des semi-conducteurs et de l'électronique d'inspecter rapidement et avec précision leurs modèles de masque et de plaquettes pour vérifier la fidélité dimensionnelle et la précision des pixels. Cette unité utilise des technologies avancées d'imagerie et de reconnaissance de motifs pour scanner et analyser les conceptions de masques et de plaquettes à toutes les résolutions et rapports d'aspect. KLA SP1 DLS est une machine automatisée qui combine le contrôle de l'éclairage et de la métrologie en une seule unité pour inspecter avec précision les surfaces des masques et des plaquettes. Il est conçu pour fournir une comparaison et une validation rapides et fiables des données, permettant aux utilisateurs d'identifier rapidement les anomalies ou les défauts et d'analyser leur impact sur le rendement de production. L'outil comprend plusieurs modes d'alignement et une fonction de topographie 3D qui permet aux utilisateurs de mesurer et de caractériser les structures sur une plaquette et de masquer dans deux directions ; un dans le plan X-Y et un dans le plan Z. L'actif utilise un dispositif d'imagerie numérique haute résolution et un scanner de haute précision pour acquérir et afficher des fichiers d'images de surfaces de masque et de plaquettes. Le modèle est capable de capturer des images à des résolutions allant jusqu'à 300 nanomètres. La précision des données est encore améliorée par un équipement de microscope directement intégré dans le système qui est utilisé pour le balayage de fonctionnalités fines. L'unité est équipée d'une suite d'outils logiciels avancés pour le traitement et l'analyse d'images, y compris un outil de topographie 3D qui permet à l'utilisateur de mesurer la hauteur, la largeur et d'autres caractéristiques sur une plaquette ou un masque en trois dimensions. La machine comprend également un outil de détection et de comparaison des défauts, qui peut être utilisé pour comparer des images de différents masques ou plaquettes pour détecter et surveiller les différences de taille. L'outil prend en charge un large éventail de formats de données standard de l'industrie tels que GDS-II, Oasis, et d'autres. En plus de ses capacités d'imagerie et d'analyse sophistiquées, TENCOR SP 1-DLS offre également une multitude de fonctions d'analyse de rendement et de contrôle de processus. Le modèle comprend à la fois un fabricant de rapports d'inspection géométrique, qui peut générer des rapports sur la taille et l'emplacement des défauts et un outil d'optimisation des fenêtres de processus, qui peut analyser et ajuster les paramètres des fenêtres de processus pour chaque produit. L'équipement offre également une capacité complète d'examen et de suivi des défauts et une matrice de tolérance définie par l'utilisateur pour les comparaisons de masques et de plaquettes. Dans l'ensemble, KLA/TENCOR SP 1-DLS est un outil avancé d'inspection des masques et des plaquettes qui offre aux fabricants un moyen d'analyser rapidement et avec précision leurs conceptions de masques et de plaquettes. Il comprend une gamme complète d'outils d'imagerie et d'analyse, ainsi que des fonctions d'analyse de rendement et de contrôle de processus qui permettent aux fabricants d'optimiser leurs rendements de production et d'améliorer leurs performances globales.
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