Occasion KLA / TENCOR SP1-DLS #9390501 à vendre en France

KLA/TENCOR SP1-DLS est un équipement de pointe pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il est conçu pour une utilisation dans la fabrication de semi-conducteurs et fournit une imagerie aérienne haute résolution et interférentielle, permettant l'inspection de géométries très fines sur les plaquettes et les masques. Le système utilise diverses technologies d'imagerie afin d'obtenir des résultats précis et fiables. KLA SP1 DLS fournit des données d'image de résolution aérienne sous microns sur une gamme de sources lumineuses à large spectre dans les modes de détection transmissive et réfléchissante. L'imagerie précise est activée par l'utilisation de Canaux-optiques, qui permettent une résolution jusqu'à 0,2 micron sur les images binées 30x. Il utilise également une caméra CCD 16 bits à haute sensibilité et faible bruit qui améliore encore les capacités d'imagerie de l'appareil. TENCOR SP 1-DLS utilise une variété de technologies d'inspection afin d'analyser la plaquette et le masque. Ceux-ci comprennent Brightfield, Darkfield, Focus Variation, MicroBrightfield et MicroBrightfield-Laser. Le mode Brightfield est une technique d'imagerie utilisée pour détecter les défauts associés à l'identité, l'alignement et la taille d'une fonctionnalité. Le mode Darkfield utilise l'éclairage oblique pour identifier les défauts, le mouillage et les particules, tandis que le mode Focus Variation est utilisé pour détecter les écarts dans le profil de hauteur des puces et des surfaces. Les modes MicroBrightfield et MicroBrightfield-Laser sont utilisés pour identifier les défauts du sous-sol associés à la micro-lithographie ; les lasers sont utilisés pour détecter les micro-fissures et la délamination. La machine offre également une large gamme de fonctions automatisées. Celles-ci comprennent la cartographie des plaquettes, l'auto-focus, l'optimisation et le classement des défauts. La cartographie des plaquettes permet une cartographie rapide et précise de diverses régions sur une plaquette et peut détecter plusieurs types de défauts. Auto-focus permet à l'outil de régler rapidement et avec précision la distance focale pendant l'inspection, tandis que l'optimisation permet d'augmenter la précision en réglant les paramètres d'imagerie et d'éclairage. Enfin, le classement des défauts identifie et classe divers types de défauts. SP 1-DLS intègre également des fonctionnalités logicielles avancées. Ceux-ci offrent un certain nombre d'avantages, tels que la lecture d'images et les capacités de comparaison d'images multiples. La lecture d'images permet aux opérateurs de visualiser des images et de contrôler des fonctions telles que des intervalles de temps, tandis que la comparaison d'images multiples permet d'examiner des images prises à différentes étapes de l'inspection. En conclusion, KLA/TENCOR SP1 DLS est un masque haute performance et un actif d'inspection de plaquettes. Il utilise une gamme de technologies d'imagerie et d'inspection afin de fournir des résultats précis et fiables. Il intègre également une variété de fonctions automatisées et de fonctionnalités logicielles avancées afin de maximiser l'efficacité. En tant que telle, KLA SP 1-DLS est une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs.