Occasion KLA / TENCOR SP1 Surfscan DLS #9262958 à vendre en France
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KLA/TENCOR SP1 Surfscan DLS est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes conçu pour l'inspection des défauts de numérisation et de post-développement. Il permet une détection fiable et fiable des défauts sur les plaquettes grâce à sa puissante combinaison d'inspection optique avancée, d'intégrité des données robuste et de fonctions de contrôle d'évaluation complètes. Le Surfscan DLS est un outil puissant pour le test et l'inspection des semi-conducteurs, offrant une sensibilité, une précision et des performances de rendement de pointe dans l'industrie. Le système combine trois stratégies d'inspection différentes : la comparaison de la plaquette à la base de données pour la production de la puce flip, la compensation du mouvement lors de l'inspection des motifs plats, et l'inspecteur de modèle pour les défauts de masque. La composante inspecteur de modèle fournit des conseils complets pour détecter les défauts avec les algorithmes de détection les plus fiables et précis. De plus, il peut détecter des défauts tant lors de la fabrication que de la post-fabrication. L'unité utilise un algorithme avancé pour détecter et classer les défauts sur la plaquette. Il combine des propriétés telles que la taille, la forme, l'intensité et le contraste pour classifier avec précision chaque défaut. L'algorithme supporte un large éventail de types de défauts, y compris les circuits ouverts/courts, les défauts linéaires et de pontage, les défauts isolés et groupés, et les défauts latéraux, entre autres. La machine offre une variété de capacités de mesure qui permettent une analyse approfondie de chaque défaut. Les informations spécifiques à chaque défaut peuvent être exportées pour analyse ou examen plus approfondi. En outre, l'utilisateur peut choisir une gamme de paramètres liés aux défauts pour analyser efficacement le défaut. Une carte topographique codée en couleur avec des lignes de grille réglables permet une analyse facile des erreurs de mise en page. Enfin, le Surfscan DLS est équipé de plusieurs fonctionnalités pour garantir une analyse fiable des données et un flux de travail amélioré. Il prend en charge la notification proactive automatisée des écarts et un outil de suivi des défauts qui permet une analyse et une réplication rapides et efficaces des grappes de défauts. En outre, l'actif comprend une intégration complète avec d'autres systèmes KLA, permettant une intégration avec des outils d'inspection de masque et de photomasque. Dans l'ensemble, KLA SP1 Surfscan DLS est un outil précieux pour l'inspection rentable et efficace des semi-conducteurs. Il offre une inspection optique puissante, une intégration robuste des données et des fonctions de contrôle d'évaluation complètes qui offrent une détection optimale des défauts et des performances de rendement.
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