Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9097041 à vendre en France

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ID: 9097041
Unpatterned surface inspection system Puck / vacuum handling Wafer measurement module Triple beam illumination (TBI) Normal illumination: 0.079 Defect sensitivity Oblique illumination: 0.060 Defect sensitivity Haze sensitivity: 0.005 ppm Ar Ion laser: 488 nm Measurement chamber with ULPA filter and blower unit Operator interface Microsoft windows NT 4.0 operating system Security, logging and native networking as provided by Windows NT Interactive pointing device Key pad controls Parallel printer port Defect map Histogram with zoom Micro view measurement capability Blower box Manual.
KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes de pointe conçu pour la production microélectronique. Ce système de production de semi-conducteurs offre des capacités complètes de détection des défauts de surface, permettant aux utilisateurs d'identifier les plus petits défauts sur les masques et les plaquettes, avec une taille inférieure à 0,02 microns. KLA SP1-TBI SURFSCAN comprend plusieurs systèmes d'unités, dont le Mask Inspection Unit (MIU) et Wafer Inspection Unit (WIU). Le MIU offre des fonctionnalités avancées de détection de défauts et est un excellent choix pour une production à haut volume. Cette unité permet une détection très précise des défauts de sous-microns sur les motifs Mask, avec une précision allant jusqu'à 0,3 microns. Le WIU offre des fonctionnalités supplémentaires qui permettent de vérifier les défauts sur les liaisons filaires et autres défauts externes. En plus de ses capacités avancées de détection de défauts, TENCOR SP1-TBI SURFSCAN offre une large gamme d'options d'imagerie qui lui permettent d'inspecter une variété de fonctionnalités différentes. Il s'agit notamment de la taille des caractéristiques, du rapport d'aspect et de la largeur/espacement des lignes. Il offre également des capacités uniques de compensation d'angle et de localisation qui lui permettent de détecter avec précision et rapidement les défauts difficiles à détecter avec les systèmes optiques classiques. SP1-TBI SURFSCAN est également capable de fournir des solutions d'imagerie haute fidélité. Cela utilise des algorithmes avancés qui peuvent rendre le texte, les images et les motifs sur les masques avec un grand degré de détail. En outre, l'unité permet des mesures rapides et précises sur des plaquettes 3D, avec des caractéristiques in-die haute résolution, fournissant des résultats fiables pour l'automatisation de la ligne de production. Pendant ce temps, cette machine offre de puissantes capacités d'analyse des défauts en temps réel, avec la possibilité pour les utilisateurs d'enregistrer et d'analyser les résultats à la volée. Globalement, KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN est un outil de production avancé qui permet aux utilisateurs d'identifier avec précision les défauts sur les masques et les plaquettes. Il fournit des mesures précises et une imagerie haute fidélité, avec un grand degré de détail et de qualité. En outre, il est livré avec des fonctionnalités robustes de détection de défauts, aidant les utilisateurs à détecter même les plus petits de défauts jusqu'à 0,02 microns. Avec ses options d'imagerie flexibles et ses puissantes capacités d'analyse des défauts, KLA SP1-TBI SURFSCAN est un choix idéal pour les lignes de production de semi-conducteurs.
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