Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9113669 à vendre en France
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KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN est un équipement d'inspection des masques et plaquettes conçu pour détecter les défauts physiques et électriques sur les masques et plaquettes à motifs. Le système se compose d'une haute résolution, d'une unité d'imagerie optique, d'un examen algorithmique des défauts et d'un contrôle logiciel. La machine est capable d'imiter jusqu'à 200 milliwatts de lumière incidente pour détecter des défauts de taille aussi petite que 0,3 micron, et peut détecter des défauts rares qui autrement ne seraient pas visibles. L'outil utilise un atout d'imagerie spectrale 20x grossissement et un objectif 10x pour obtenir l'inspection de défaut la plus haute résolution dans sa classe. Le modèle est capable de détecter à la fois des défauts physiques aléatoires, ainsi que des défauts électriques qui peuvent causer la performance électrique de la plaquette ou du masque de devenir compromis. De plus, l'équipement est capable de détecter tout problème d'enregistrement de plaquettes à plaquettes et de plaquettes à masques, ce qui permet aux opérateurs de régler rapidement tout problème causé par des problèmes d'enregistrement raides. Le système comprend une variété d'algorithmes propriétaires qui fonctionnent rapidement et avec précision pour détecter les défauts physiques et électriques sur les masques et les plaquettes à motifs. Ces algorithmes sont capables de détecter des défauts qui, sinon, pourraient ne pas être visibles avec l'imagerie optique standard. Les algorithmes sont conçus pour identifier et mesurer les défauts d'enregistrement de masque à masque et de plaquette à plaquette. L'unité KLA SP1-TBI SURFSCAN est conçue pour aider les clients à identifier rapidement et avec précision tout défaut physique ou électrique dans un processus de production. En outre, la machine est compatible avec une variété de programmes d'inspection standard de l'industrie, permettant aux clients d'intégrer facilement leurs systèmes existants dans la plate-forme TENCOR SP1-TBI SURFSCAN. L'outil est conçu pour fournir aux utilisateurs une inspection rapide et fiable des défauts.
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