Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9115137 à vendre en France

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes de pointe conçu pour la production de semi-conducteurs de haute densité et de haute qualité. Il offre une imagerie de haute précision pour une inspection avancée des plaquettes afin de détecter rapidement et précisément les défauts. Le SP1-TBI utilise des technologies de pointe telles que l'interférométrie optique avancée, le balayage à grande surface, la métrologie de déphasage et l'amélioration du contraste d'image pour détecter avec précision les dimensions critiques, la topographie et les défauts sur un large éventail de substrats, y compris le silicium, l'arséniure de gallium et le quartz. Le SP1-TBI est un système de taille tablette qui fournit jusqu'à 4µm de résolution d'imagerie. Il est capable de détecter des défauts jusqu'à 4,8 nm de diamètre tout en conservant une luminosité supérieure à celle du fond pour identifier facilement les défauts. Le SP1-TBI permet une imagerie simple ou double champ de vision, permettant un contrôle précis des processus pour différents types de plaquettes et applications. L'unité peut accueillir jusqu'à six plaquettes d'une taille maximale de 200mm et peut être utilisée à la fois avec des manipulateurs automatisés de plaquettes ou des assemblages robotiques. En termes d'optique, le SP1-TBI dispose d'une machine optique à double réflexion unique qui utilise le codage de polarisation. Cela garantit une qualité d'imagerie supérieure et une sensibilité supérieure aux défauts étendus. Il utilise également une caméra à haute vitesse et à couplage de charge haute résolution (CCD) qui améliore encore la sensibilité et le débit de l'outil. Le SP1-TBI offre également la capture, le stockage et l'analyse automatiques des images pour une détection rapide et fiable des défauts. Globalement, KLA SP1-TBI SURFSCAN est un outil fiable d'inspection des masques et des plaquettes qui offre des capacités de détection des défauts supérieures et une précision sur les matériaux, les géométries et les tailles des substrats. Il permet une détection rapide, efficace et précise des défauts sur une large gamme de substrats, avec la polyvalence nécessaire pour s'intégrer facilement à divers besoins de flux de production.