Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9171668 à vendre en France
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Vendu
ID: 9171668
Taille de la plaquette: 8"-12"
Style Vintage: 2004
Surface inspection system, 8"-12"
-Haze sensitivity: 0.005 ppm
-Argon ion laser (488nm)
-RTDC (Real time defect classification)
-Measurement chamber
With ULPA filter and blower unit
-Operator interface (Integrated measurement module)
-OS: Microsoft Windows NT4.0
-Interactive pointing device
Keypad controls
-TFT Flat panel display
-Parallel printer port
-Defect map and histogram with zoom
-Micro view measurement capability
-Iomega 1GB removable jaz drive
-(2) Clean room operations manual
-SP1 Operations manual (softcopy)
Illumination requirement:
-Normal illumination - 0.083µm (Defect sensitivity and oblique)
-Illumination: 0.060 µm Defect sensitivity
-(4) Channels:
Normal wide
Normal narrow
Oblique wide
Oblique narrow
-300/200-mm Puck-handling system
-Single SMIF handling module
Without FLUOROWARE cassette ID reader enclosures for 300/200 mm
-Accessories:
English and Japanese manual
Operation training
-Handling options:
Single FIMS handler (1 × 300 mm)
Vacuum handling system
-Options:
Bright field (DIC)
X-Y Coordinate
SECS-1
HSMS
PC-NFS Client
Desktop PC software
Color printer (Hawlett Packard Business inkjet 2300 equivalent)
Printer rack
2004 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN est un puissant équipement d'inspection de masque et de plaquettes qui offre une capacité supérieure pour la détection et la caractérisation des défauts. Le système utilise une étape avancée de balayage multi-axes pour fournir une imagerie extrêmement précise et tridimensionnelle des endroits et des structures défectueux. Le réseau de détecteurs double sophistiqué assure que tous les signaux de défaut sont capturés avec précision, tandis que les algorithmes de reconstruction 3D multicouche aident l'opérateur à identifier et classer les défauts plus rapidement. KLA SP1-TBI SURFSCAN comprend également une unité avancée d'outils de classification des défauts. Cela permet à l'opérateur de rechercher des types spécifiques de défauts, en établissant des sélections individuelles de « signature » adaptées aux caractéristiques du produit. La machine d'inspection est également capable d'effectuer une large gamme de scans au niveau des plaquettes, avec des réglages d'équipement et des paramètres d'analyse d'image adaptés à chaque type de produit. L'outil d'inspection est hautement automatisé et peut être programmé pour fonctionner avec des taux d'intervention manuelle aussi bas que 10 %. Cela fournit des niveaux de production et de débit extrêmement élevés. Les capacités très sensibles et avancées d'examen des défauts de l'actif réduisent le besoin de tri et réduisent les coûts globaux de fabrication des dispositifs semi-conducteurs. TENCOR SP1-TBI SURFSCAN est conçu pour répondre aux normes les plus élevées de précision, de fiabilité et de répétabilité. Il est également assez robuste pour répondre aux exigences extrêmes de la fabrication à haut volume. Les capacités de détection et de classification avancées du modèle donnent des débits élevés, tout en minimisant le temps consacré aux processus de tri. Le masque et l'équipement d'inspection des plaquettes comprennent une série d'outils analytiques de haute qualité qui permettent une analyse avancée des données et des capacités de déclaration. Le système fournit un accès direct aux données de défaut et permet à l'opérateur d'identifier et de comprendre rapidement le type et la gravité du défaut. Cette analyse est encore améliorée par l'ajout de capacités d'horodatage qui permet une analyse plus approfondie de certains types de défauts et de leurs causes profondes. SP1-TBI SURFSCAN est un vrai révolutionnaire dans l'inspection des masques et des plaquettes. En plaçant une inspection des défauts puissante et fiable dans une unité compacte, les niveaux de performance de la machine dépassent ceux des systèmes d'analyse des défauts intégrés les plus avancés. KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN offre aux fabricants de semi-conducteurs un avantage concurrentiel en réduisant les coûts liés aux défauts de fabrication des masques et des plaquettes.
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