Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI SURFSCAN #9217636 à vendre en France

KLA/TENCOR SP1-TBI SURFSCAN masque & wafer inspection equipment est un outil automatisé qui est utilisé pour l'inspection de niveau de défaut des wafers et masques avant la fabrication. Ce système est conçu pour répondre aux exigences d'inspection à distance de l'industrie des semi-conducteurs. Les systèmes Surfscan utilisent une conception optique avancée et des algorithmes propriétaires de traitement d'image pour détecter avec précision tous les types de défauts de plaquettes et de masques au niveau des fonctionnalités. La conception optique de l'unité Surfscan utilise deux lasers ; l'un pour l'imagerie et l'autre pour l'illumination. Les deux lasers produisent un faisceau uniforme polarisé directionnellement qui est ensuite dirigé vers la plaquette ou le masque à travers une série d'optiques. Cette disposition permet un balayage complet à 360 ° de la surface de la plaquette ou du masque, fournissant une image détaillée des défauts tels que des rayures, des particules et des fosses. Les algorithmes propriétaires de traitement d'image de la machine Surfscan permettent une inspection précise des surfaces des plaquettes et des masques à haut débit. Les algorithmes analysent chaque pixel de l'image produite, en utilisant la détection de bord et l'analyse de contraste sous-pixel pour l'analyse différentielle de l'image. Cette analyse est utilisée pour identifier les défauts avec des niveaux élevés de précision. L'outil d'inspection Surfscan dispose également d'une mise au point automatique et d'une compensation par cisaillement, qui permettent de détecter avec précision les défauts des échantillons qui contiennent des défauts proches et lointains. Un outil intégré de manutention des plaquettes est disponible, qui permet le chargement et le déchargement automatiques et manuels des échantillons. Le modèle est capable d'inspecter plusieurs types de matériaux, dont le silicium, le carbone, le nitrure, l'oxyde et l'oxyde de hafnium. Il est également capable de scanner jusqu'à 15 microns, permettant une détection précise de tous les types de défauts. L'équipement Surfscan offre un haut niveau de fiabilité et de précision, et est bien adapté à une large gamme d'applications d'inspection de fonctionnalités dangereuses. Il est également idéal pour les applications qui nécessitent des capacités d'inspection des défauts à faible coût et avancées.