Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI #9230385 à vendre en France
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KLA/TENCOR SP1-TBI est un équipement d'inspection des masques et plaquettes de nouvelle génération qui a été développé pour répondre aux exigences de haute précision de la production de puces semi-conductrices. Le système combine une technologie d'imagerie avancée, des algorithmes avancés et une série d'outils de préparation et d'analyse des données qui permettent une inspection des plaquettes et des masques ultra-précis tout au long du processus de production. KLA SP1T-BI utilise une série de technologies d'imagerie optique, y compris l'inspection par lithographie ultraviolette extrême (EUVL) avec dispositif à couplage chargé (CCD), l'inspection par faisceau d'électrons avec microscopie électronique à balayage (SEM) et l'inspection à l'échelle du micron avec microscopie confocale à balayage laser (LSCM). Chacune de ces technologies est conçue pour détecter les défauts avec la plus grande précision et la plus petite empreinte possible. De plus, l'unité dispose d'une sonde de puissance optique à profondeur laser (ODPP) pour les mesures de hauteur de surface, et d'une sonde d'imagerie à courant de Foucault (ECIP) pour les mesures d'orientation, de profondeur et de courbure. La machine comprend également des optiques avancées et des algorithmes pour l'acquisition et l'analyse de données en temps réel. Il utilise diverses techniques, dont l'optique adaptative, la cartographie des défauts opto-électriques, la cartographie des textures et les algorithmes de reconnaissance des motifs, pour analyser les images et détecter les défauts qui peuvent affecter la fiabilité et les performances du dispositif. TENCOR SP1 TBI dispose également de technologies d'automatisation avancées qui facilitent son intégration dans les processus d'inspection des plaquettes et masques existants. Il est conçu pour assurer un temps de mise en place rapide, un fonctionnement fiable de l'outil et une détection rapide des défauts. Il est également capable de contrôler l'environnement d'inspection des plaquettes et des masques, assurant un environnement de production sûr et cohérent. L'actif est également conçu pour fournir un haut niveau de performance et d'efficacité. Ses outils d'acquisition et d'analyse des données permettent une détection rapide et précise des défauts tout au long du processus de production de l'appareil. C'est également une solution idéale pour les tâches d'inspection de masque et de plaquette de haute précision, car ses algorithmes sont optimisés pour la détection des défauts avec la plus grande précision. Dans l'ensemble, TENCOR SP1-TBI est un modèle avancé d'inspection des masques et des plaquettes conçu pour répondre aux exigences les plus exigeantes de la production de puces semi-conductrices. Ses technologies avancées d'imagerie, d'automatisation et d'analyse des données permettent une détection rapide et précise des défauts, tandis que l'ensemble des outils et des capacités de manipulation des données lui permettent d'être facilement intégré dans les processus existants. C'est un choix idéal pour des tâches d'inspection de masque et de plaquette de haute précision.
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