Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI #9257857 à vendre en France
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Vendu
ID: 9257857
Taille de la plaquette: 8"-12"
Style Vintage: 2002
Wafer defect inspection system, 8"-12"
Automation-open cassette
Notch align
Port, 8"/12"
Includes:
Standard handling
Cassette station
Oblique illumination
Puck handling
Robot
Single paddle
No bright field
No backside option
No dual end effector
No SMIF
Laser installed
Operating system: Windows XP
2002 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI, un équipement d'inspection de masque et de plaquettes, est un système d'inspection automatisé conçu pour la détection des défauts critiques afin de fournir les plaquettes de la plus haute qualité pour la production. Il est utilisé pour inspecter les masques, les plaquettes et les réticules des appareils à motifs ou non, ce qui permet d'effectuer l'évaluation avec une précision et une efficacité maximales. L'unité analyse les images sans se fier à des jugements subjectifs, tandis que son optique haute résolution et ses capacités algorithmiques de détection de défauts de haute précision sont capables de détecter et de classer les défauts sur une variété de types de masques et de plaquettes. La machine optique de KLA SP1T-BI utilise un grand champ de vision (FOV) avec une imagerie répétable qui, en combinaison avec des algorithmes propriétaires et une optique conçue pour réduire les erreurs d'éruption et d'uniformité, génère des données fiables et reproductibles pour chaque champ optique. L'outil dispose également d'un éclairage programmable de bande laser qui est optimisé pour l'imagerie de masque qui peut atteindre jusqu'à 0,45 μ m résolution pour les réticules et 0,28 μ m résolution pour les inspections de masques. Le matériel comprend également un ensemble de préhension de plaquettes pour l'échange automatisé de plaquettes, des capacités d'imagerie infrarouge, et un bras robotique programmable qui se déplace d'une position d'actif à une autre pour faciliter le chargement et le déchargement de plaquettes et de masques. Le puissant logiciel Vision Analyzer, qui intègre tous les composants matériels et le traitement algorithmique avancé des images, est équipé d'intelligence artificielle (IA) - technologie intelligente de détection des défauts, fournissant une analyse d'image précise et robuste qui avance à la fois la détection des défauts de surface et de sous-surface. En outre, TENCOR SP1 TBI est conçu pour des applications à haut débit, avec une inspection rapide et une automatisation performante. Ce modèle inspecte des centaines de pièces en peu de temps et fournit des résultats précis avec une imagerie couleur haute résolution. Il permet aux utilisateurs de contrôler les paramètres de l'équipement, tels que la taille des pixels, la source lumineuse, le temps d'exposition, la taille des défauts, et plus encore, ce qui garantit la précision de l'inspection. En outre, le système dispose également d'une interface conviviale pour un fonctionnement facile et le contrôle des paramètres. En conclusion, TENCOR SP 1 TBI est une unité fiable et puissante pour l'inspection des masques et des plaquettes. La mise en œuvre de son matériel et de son logiciel avancé Vision Analyzer offre des capacités de détection de défauts robustes ainsi que des options d'échange automatisé de plaquettes et de haut débit pour fournir les plaquettes de la plus haute qualité pour la production.
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