Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI #9257956 à vendre en France
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Vendu
ID: 9257956
Surface inspection system
Flat panel display, 22"
Computer
Operating system: Windows NT
Argon ion laser: 30 mw, 488 nm
Light tower
SECS / HSMS Interface
Micron view measurement capability
Defect map and histogram with zoom
CD-ROM Drive
Dual Hard Disk Drive (HDD)
Handler, 8":
(2) Sender stations: SMIF Inside load port
(2) Receiver stations: Open cassette
Dual arm vacuum handler robot
Robot arm puck
KEYENCE Ionizer bar
FFU With fault alarm function.
KLA/TENCOR SP1-TBI est un équipement d'inspection de plaquettes et de masques qui fournit une approche fiable et rentable pour la surveillance automatisée des processus basés sur l'optique et la détection des défauts. Ce système est idéal pour le contrôle de processus inoNode dans des environnements avancés de fabrication de semi-conducteurs, ce qui le rend adapté à une large gamme de types d'appareils. KLA SP1T-BI est conçu pour répondre aux exigences exigeantes de l'inspection des masques et des plaquettes. Il est équipé d'un microscope optique haute résolution 4K et de systèmes de contrôle exclusifs basés sur l'optique pour l'imagerie avancée et l'analyse des défauts. En outre, l'unité permet la génération automatique d'images haute résolution et exécute des algorithmes autofocus complets afin d'optimiser la résolution d'image à des vitesses de balayage extrêmement rapides. TENCOR SP1 TBI intègre des algorithmes avancés de traitement d'image qui lui permettent de détecter un certain nombre de types de défauts, y compris des défauts de motif, des défauts de fabrication, etc. En outre, la machine est capable de reconnaître une large gamme de couches diélectriques, ce qui la rend apte à la surveillance avancée des procédés. De plus, l'outil permet l'inspection sélective des gravures et la mesure de la surexposition ou de la sous-exposition pour diverses étapes du processus. La composante logicielle de TENCOR SP1-TBI offre une interface conviviale et de puissantes capacités d'analyse de données. Il dispose d'une large gamme de modes d'imagerie qui permettent une capture d'image précise avec des vitesses de balayage rapides, ainsi que le support pour diverses techniques de traitement. L'actif comprend également un mode de suivi des défauts en temps réel et une classification automatique des défauts. En outre, le logiciel peut générer des cartes de performance électroniques détaillées (EPM) pour différentes couches et structures. SP1-TBI comprend également des options de contrôle de processus pour les systèmes de contrôle en boucle fermée, permettant des ajustements et des corrections lors de la fabrication de plaquettes et de masques. Ces options de contrôle de processus permettent également l'intégration et le partage de données avec d'autres parties du processus de fabrication. Globalement, SP1T-BI est une solution idéale pour la surveillance optique des processus et la détection des défauts. Il est très fiable et rentable, et fournit une plate-forme complète et conviviale pour une large gamme d'inspections de plaquettes et de masques. Avec ses capacités avancées d'imagerie et de détection des défauts, ainsi que de puissants logiciels et options de contrôle des processus, KLA SP1-TBI est l'outil parfait pour la fabrication de semi-conducteurs de pointe.
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