Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI #9266303 à vendre en France

KLA/TENCOR SP1-TBI est un équipement autonome, semi-automatique de masque et d'inspection des plaquettes qui utilise des capteurs d'image de contact (SIC) pour reconnaître les défauts associés au traitement des masques et des plaquettes. Le système est conçu pour effectuer une détection rapide et précise des défauts dans divers masques et plaquettes, ainsi que la détection des particules de submicronique à millimétrique. L'unité comporte un étage optique sans contact de cinq pouces pour le chargement et le déchargement du masque ou de la plaquette. Une fois chargé, l'étage se déplace par rapport aux faisceaux CIS pour générer une représentation numérique du signal de la surface du masque ou de la plaquette. Les centaines de milliers de signaux générés sont comparés côte à côte avec les données originales scannées pour détecter tout défaut. KLA SP1T-BI dispose également d'une machine de classification automatisée des défauts qui permet de distinguer les particules, les rayures et d'autres défauts aléatoires et de les segmenter en conséquence. De plus, l'outil est capable de détecter les défauts de la puce, de résister aux résidus, aux nœuds, aux fils et aux traces. L'exactitude et la vitesse de l'actif sont maintenues grâce à un algorithme avancé d'enregistrement des images. L'expérience utilisateur est améliorée par une variété de fonctionnalités qui permettent une manipulation facile de l'échantillon physique. Le modèle offre deux façons de sélectionner une région d'intérêt : la sélection manuelle et l'alignement automatique. La sélection manuelle permet aux utilisateurs de sélectionner n'importe quelle région d'intérêt et de lancer le processus d'inspection ; tandis que le mode d'alignement automatique sélectionne le ROI à partir d'une image de référence qui est pré-stockée dans l'équipement. Avec tout procédé d'inspection par masque ou wafer, la qualité des résultats dépend de l'uniformité de l'éclairage appliqué à l'échantillon. TENCOR SP1 TBI utilise un illuminateur programmable uniforme pour créer un champ d'éclairage uniforme. L'illuminateur est programmable pour permettre la sélection dynamique de différentes longueurs d'onde, permettant un traitement indépendant de divers défauts d'échantillons. En conclusion, SP1 TBI est un système efficace et fiable pour l'inspection précise et automatisée des masques et des plaquettes. L'unité dispose d'un algorithme d'enregistrement d'image ainsi que d'un illuminateur programmable uniforme, ainsi que d'une machine automatisée de classification des défauts, ce qui en fait un choix idéal pour les applications de masque à haut débit et d'inspection des plaquettes.