Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI #9293511 à vendre en France
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Vendu
ID: 9293511
Style Vintage: 2006
Surface inspection system
Dual FOUP, 12"
Type: Wafer handling vacuum
Operating system: Windows NT
2006 vintage.
KLA/TENCOR SP1-TBI est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes conçu pour fournir une détection fiable et précise des défauts pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs. Ce système est basé sur la technologie de pointe TBI (Transient Beam Inspection), permettant un éclairage diagnostique qui révèle rapidement le moindre problème. KLA SP1T-BI est un outil d'inspection semi-automatisé pour la fabrication de semi-conducteurs de précision. Il est conçu pour inspecter les dispositifs logiques et de mémoire fabriqués sur des équipements de fabrication de lithographie de pointe. Il utilise une série de lasers pour impulser la lumière à différentes longueurs d'onde et angles, permettant une imagerie haute résolution des caractéristiques sensibles dans un court laps de temps. Cela permet de détecter avec précision les défauts, des gros jusqu'aux détails sous-microns. La précision de l'appareil est encore améliorée grâce à sa technologie de contrôle, ce qui permet aux opérateurs d'ajuster les paramètres en fonction de leurs performances souhaitées. Pour évaluer les défauts, la machine est construite avec des algorithmes de mesure propriétaires et des outils logiciels tels que Defect Review Editor et Defect Match. Cela aide à identifier les différents types de défauts et fournit des informations sur la taille, la forme, la profondeur et la position du défaut. TENCOR SP1 TBI est équipé d'une matrice de détection CCD calibrée et linéaire très sensible pour une imagerie précise et plus de précision. Sa technique d'imagerie au foyer étendu neutralise l'effet de la poussière et des défauts hors foyer, permettant une détection rapide et précise. L'outil offre également un support de données CAO (Computer Aided Design) robuste pour une variété de formats de données, permettant une configuration rapide et un contrôle de processus efficace. En outre, l'actif peut créer des rapports avec des informations détaillées sur les défauts et les défauts pour l'analyse complète des processus et la traçabilité. Toutes ces caractéristiques font de SP 1 TBI une solution idéale pour une inspection efficace des masques et des plaquettes dans la fabrication des semi-conducteurs. Sa technologie TBI de pointe, son support de données CAO robuste, ses paramètres de contrôle et sa technique d'imagerie focale étendue permettent une détection rapide et précise de divers types de défauts, permettant une qualité constante du produit et des rendements plus élevés.
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