Occasion KLA / TENCOR SP1-TBI #9354265 à vendre en France
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ID: 9354265
Taille de la plaquette: 8"
Inspection systems, 8"
External flat panel display, 22"
SECS / HSMS Interface
Light tower
Histogram with zoom
(2) Hard Disk Drive (HDD) Handlers, 8"
(2) Sender stations: SMIF Inside load port
(2) Receiver stations: Open cassette
Dual arm vacuum handler robot
Robot arm puck
KEYENCE Ionizer bar
FFU With fault alarm function
ARGON Ion laser (30 mW): 488 nm
Computer
Operating system: Windows NT.
KLA/TENCOR SP1-TBI est un équipement très sophistiqué et avancé pour l'inspection des masques et des plaquettes. Il utilise l'optique haute vitesse et la technologie de traitement d'image 2D pour détecter la présence de défauts dans ces matériaux. Le système d'inspection des masques et des plaquettes offre des vitesses rapides de balayage des échantillons afin que les pièces puissent être inspectées rapidement et avec précision. L'unité est capable d'inspecter les couches de masque et les plaquettes pour détecter les défauts avec une grande précision. Il utilise une machine optique à deux lentilles avec deux niveaux de grossissement pour fournir une analyse détaillée. L'outil a la capacité de processus automatiques et manuels d'acquisition et d'analyse d'images. Il est également équipé d'une multitude de fonctionnalités logicielles, telles que la classification des défauts, la taille des défauts et la mesure de l'emplacement, et l'auto-alignement des images. L'actif peut effectuer des analyses pour l'inspection en ligne des substrats. Son tableau d'image rétractable offre une flexibilité pour la comparaison automatique ou manuelle des résultats. Il offre également une analyse photo-métrique avancée, qui peut détecter les différences dans les lignes latitudinales et longitudinales du motif sur la couche de masque. En outre, le modèle dispose d'une caméra microscopique intégrée qui est utilisée pour analyser un échantillon à résolution sub-micron. KLA SP1T-BI dispose de capacités intégrées de capture et de traitement d'images, qui offrent une grande précision et répétabilité. L'équipement est également capable de gérer les débordements et les images incomplètes. Il prend en charge un grand nombre de formats de données et peut être intégré aux réseaux et systèmes informatiques existants. Le système garantit que les couches et les plaquettes de masque sont de la plus haute qualité en fournissant la répétabilité, la précision et l'intégrité. Son optique avancée, ses capacités d'analyse de haute précision et sa flexibilité font de TENCOR SP1 TBI une unité idéale pour l'inspection des masques et des plaquettes en production de masse.
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